La norma SEMI F 64, desarrollada en el marco del programa internacional de estándares Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), que abarca actividades que benefician a industrias como la de semiconductores, circuitos integrados, transistores, diodos y pantallas planas a nivel mundial, define un método de ensayo para caracterizar un controlador de flujo másico destinado a su instalación en un sistema de distribución de gas. Este método se aplica para determinar el efecto de las condiciones de presión transitorias y estables de entrada y salida sobre el rendimiento del controlador de flujo másico.
Este método de prueba proporciona una base común para la comunicación entre fabricantes y usuarios con respecto a la prueba y explicación de los efectos de la presión del controlador de flujo másico.
Con este método de prueba, se determinan los efectos de la presión transitoria corriente arriba (entrada) y corriente abajo (salida) sobre el flujo real y especificado. Este método de prueba da los resultados del flujo de salida real versus el flujo especificado y el punto de ajuste del controlador de flujo másico afectado por la presión de entrada en estado estable. El método se aplica a controladores de flujo másico con un rango de flujo máximo de hasta 1000 sccm (centímetros cúbicos estándar por minuto).
El aumento de presión hace que el gas se comprima. Los gases tienen una densidad más alta y ocupan un volumen menor. En otras palabras, si fluye una determinada masa de gas, su volumen es menor. Dado que la misma masa de gas fluye a través de la misma tubería, la velocidad del gas comprimido disminuye.
En aplicaciones de gas, las fluctuaciones de la presión del gas pueden afectar la velocidad del gas, lo que afecta significativamente a los instrumentos de medición del flujo de gas.
Esencialmente, el flujo es una medida de la salida de aire en volumen por unidad de tiempo. La velocidad se refiere a qué tan rápido se mueve el aire por unidad de tiempo. La presión es la medida de fuerza aplicada a un área.
Entre los numerosos estudios de prueba, medición, análisis y evaluación que nuestra organización brinda a empresas de diversos sectores, con su personal capacitado y experto y equipos tecnológicos avanzados, servicios de prueba para la determinación de los efectos de la presión sobre el caudal real y mostrados para la masa dispositivos de control de flujo dentro del alcance de la norma SEMI F64.
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