Der SEMI F101-Standard wurde im Rahmen eines internationalen Standardprogramms namens International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) entwickelt und definiert eine Testmethode zum Testen von Druckreglern, die für den Einbau in Gassystemen vorgesehen sind. Die Anwendung dieser Testmethode soll zu vergleichbaren Daten zwischen den zu Qualifizierungszwecken getesteten Regulierungsbehörden führen. Diese Norm stellt eine Testmethode zur Bestimmung der Leistungsmerkmale von Reglern bereit.
Diese Prüfmethode gilt für Druckregler. Testmethoden, die diese Eigenschaften messen, sollten in der folgenden Reihenfolge durchgeführt werden:
Kurz gesagt bietet diese Testmethode eine gemeinsame Grundlage für die Kommunikation zwischen Herstellern und Anwendern.
Hersteller entwerfen ihre Gasverteilungssysteme auf der Grundlage bewährter Verfahren und erstellen viele Konfigurationen entsprechend den Anforderungen. Standardkonforme und konfigurierbare Gasverteilungssysteme sollen dazu beitragen, Systembetreiber zu schützen, die Prozessverfügbarkeit zu erhöhen und die Prozessgenauigkeit und -wiederholbarkeit zu verbessern. Sicherheit und Funktionalität sind dabei die wichtigsten Faktoren. Systeme umfassen einen oder mehrere Druckregler, um Gase effektiv von einer Hochdruckquelle mit dem für jede Anwendung erforderlichen Druck und der Durchflussrate an den Rest der Anlage zu liefern. An diesem Punkt ist es wichtig, die Leistung des Druckreglers zu bestimmen. Für gewerbliche und industrielle Anwender ist ein stabiler Druck unerlässlich, damit der Betrieb nicht beeinträchtigt wird.
Bei der Erstellung dieses Standards wurden die folgenden SEMI-Standards als Referenz verwendet:
Neben den zahlreichen Tests, Messungen, Analysen und Bewertungen, die unsere Organisation für Unternehmen in verschiedenen Branchen durchführt, bieten wir dank unserer geschulten und erfahrenen Mitarbeiter und unserer fortschrittlichen technologischen Ausrüstung auch Prüfdienstleistungen zur Ermittlung der Leistungsfähigkeit von Druckreglern in Gasverteilungssystemen im Rahmen der Norm SEMI F101 an.
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