SEMI F112 Testverfahren zur Bestimmung der Feuchtigkeitstrocknungseigenschaften von oberflächenmontierten und konventionellen Gasverteilungssystemen durch Hohlraumringspektroskopie (CRDS)

Der SEMI F112-Standard wurde im Rahmen eines internationalen Normungsprogramms namens International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) entwickelt und konzentriert sich auf die Bestimmung der Feuchtigkeitstrocknungseigenschaften (dh die Menge an extrahierbarer Feuchtigkeit) der Oberflächenmontage von integrierten Gasverteilungssystemen und konventionellem Gas Verteilungssysteme mit Space-Ring-Spektroskopie-(CRDS)-Analysatoren Ein Prüfverfahren ist definiert für

Die Ergebnisse dieses Prüfverfahrens dienen der qualitativen Einstufung des Gasverteilungssystems nach der Auslegung. Es kann auch von einem Benutzer mit ausreichenden Kenntnissen als Eingabe für die numerische Simulation des Verhaltens eines Gasverteilungssystems verwendet werden.

Bei der Erstellung dieses Standards wurden die folgenden SEMI-Standards als Referenz verwendet:

• Testmethode für SEMI C15 ppm und ppb Feuchtigkeitsstandards
• SEMI F1 Spezifikation der Leckintegrität von Rohrleitungssystemen und Komponenten für hochreines Gas

Space-Ring-Spektroskopie (CRDS) ist eine bekannte und verwendete Technik zur Überwachung von Feuchtigkeit in hochreinen Prozessgasen in der Halbleiter- und LED-Fertigungsindustrie sowie in der industriellen Gas- und chemischen Produktion, dem Transport und der Verteilung. Die Vorteile dieser genauen und kostengünstigen Feuchtigkeitsüberwachungstechnik ziehen die Aufmerksamkeit von Emittenten von Industriestandards wie SEMI auf sich.

Die im SEMI F112-Standard vorgestellte Testmethode ermöglicht es Benutzern, Gasverteilungssysteme entsprechend ihrer Konstruktion qualitativ zu bewerten und einzustufen. Diese Norm deckt die folgenden Hauptanwendungsbereiche ab:

• Aufputz-Gasverteilungssysteme
• Konventionelle Gasverteilungssysteme
• Qualifizierung neuer Rohrleitungssysteme
• Qualifizierung neuer Gasverteilungskonzepte

Im Allgemeinen sind SEMI-Standards freiwillige technische Vereinbarungen zwischen Lieferanten und Kunden, die darauf abzielen, die Produktqualität und -zuverlässigkeit durch eine stabile Versorgung zu verbessern. Diese Standards gewährleisten die globale Kompatibilität von Produkten, um die Herausforderungen der Produktivitätssteigerung zu meistern und gleichzeitig weltweite Geschäftsmöglichkeiten zu bieten.

Unsere Organisation, unter den zahlreichen Test-, Mess-, Analyse- und Bewertungsstudien, die sie für Unternehmen in verschiedenen Sektoren durchgeführt hat, mit ihrem geschulten und fachkundigen Personal und der fortschrittlichen technologischen Ausrüstung im Rahmen des SEMI F112-Standards, feuchtigkeitstrocknende Eigenschaften von oberflächenmontierten und konventionelle Gasverteilungssysteme mit Space-Ring-Spektroskopie (CRDS) sowie Prüfdienstleistungen zur Bestimmung von