Der SEMI F70-Standard wurde im Rahmen eines internationalen Standardprogramms namens International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) entwickelt und ist ein technisch genehmigter Standard des Gases Global Technical Committee. Der Zweck dieser Norm besteht darin, eine Standardmethodik und Prüfmethode zur Messung der Partikeladditivleistung eines Gasverteilungssystems in Bezug auf die Anzahl der Partikel bereitzustellen, die dem durch das System strömenden Gas hinzugefügt werden. Dieses standardisierte Verfahren soll von Lieferanten von Gasverteilungssystemen, Ausrüstungslieferanten und Endverbrauchern in großem Umfang genutzt werden.
Die betreffende Testmethode gilt für herkömmliche oberflächenmontierte Gasverteilungssysteme, die in Halbleiterfertigungsanlagen verwendet werden. Bei den Prüfungen wird die dieser Norm beigefügte Norm SEMI F70.1-0320 berücksichtigt (Prüfverfahren zur Bestimmung des Partikelbeitrags des Gasverteilungssystems und seiner Komponenten durch Aufprallprüfung).
Eine der wichtigsten Überlegungen beim Entwurf eines Gasverteilungssystems ist der Grad der Gasreinheit, der an jedem Verwendungspunkt erforderlich ist. Die Aufrechterhaltung der Gasreinheit wird durch ein zentralisiertes System vereinfacht. Die Wahl des Montagematerials muss durchgehend einheitlich sein. Wenn beispielsweise ein Gas in Forschungsqualität verwendet wird, sollten ausschließlich Edelstahlkonstruktionen und membranlose Absperrventile verwendet werden, um eine Kontamination des Gasstroms zu verhindern. Im Allgemeinen gibt es drei Reinheitsstufen, die fast jede Anwendung beschreiben: Allzweckreinheit, hohe Reinheit und ultrahohe Reinheit.
SEMI-Standards und Sicherheitspraktiken erheben nicht den Anspruch, alle Sicherheitsprobleme bei ihrer Verwendung zu berücksichtigen. Es liegt in der Verantwortung der Anwender der Standards, angemessene Sicherheits- und Gesundheitspraktiken festzulegen und die Anwendbarkeit von Nutzungsbeschränkungen zu bestimmen.
Kurz gesagt besteht der Zweck des SEMI F70-Standards darin, eine Methode zur Messung der Partikeladditivleistung eines Gasverteilungssystems in Bezug auf die Anzahl der Partikel bereitzustellen, die dem durch das System strömenden Gas hinzugefügt werden.
Bei der Erstellung dieses Standards wurden die folgenden SEMI-Standards als Referenz verwendet:
Neben den zahlreichen Test-, Mess-, Analyse- und Bewertungsstudien, die es für Unternehmen in verschiedenen Branchen durchführt, bietet unsere Organisation mit geschultem und fachkundigem Personal und modernster technologischer Ausrüstung auch Testdienstleistungen zur Bestimmung des Partikelbeitrags des Gasverteilungssystems im Rahmen der Norm SEMI F70 an.
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