SEMI F81 Sichtprüfung und Abnahmetest von Gas-Wolfram-Lichtbogenschweißnähten (GTA) in Flüssigkeitsverteilungssystemen in Anwendungen in der Halbleiterfertigung

Visuelle Inspektion für das Gas-Wolfram-Lichtbogenschweißen (GTA) von Edelstahl und anderen korrosionsbeständigen Metallen und Legierungen in Flüssigkeits- oder Gasverteilungssystemen in Halbleiterfertigungsanwendungen gemäß der Norm SEMI F81, die im Rahmen eines internationalen Standardprogramms namens International Semiconductor Equipment entwickelt wurde und Materialien (SEMI). und Akzeptanzkriterien. Diese Kriterien sollen sicherstellen, dass die Schweißnähte von ausreichender Qualität sind, um die erforderliche Systemreinheit, Schweißintegrität und Schweißfestigkeit für den Einsatz in Halbleiterfertigungsanwendungen zu gewährleisten.

Der SEMI F81-Standard beschreibt die Inspektions- und Akzeptanzkriterien für autogene GTA-Stumpfschweißnähte (Gas-Wolfram-Lichtbogen) von Edelstahl und anderen korrosionsbeständigen Metallen und Legierungen in Flüssigkeitsverteilungssystemen. Das Flüssigkeitsverteilungssystem umfasst Rohrleitungen, Rohrverbindungen, Ventile, Unterbaugruppen und Komponenten, die Flüssigkeiten enthalten und verteilen.

Beim Gas-Wolfram-Gas-Schweißen (GTA) handelt es sich um ein Lichtbogenschweißverfahren, bei dem zur Herstellung der Schweißnaht eine nicht verbrauchbare Wolframelektrode verwendet wird. Der Schweißbereich und die Elektrode werden mit einem inerten Schutzgas aus Argon oder Helium vor Oxidation oder anderen atmosphärischen Verunreinigungen geschützt. Normalerweise wird während des Prozesses ein Füllmetall verwendet, aber einige Schweißnähte, sogenannte Autogen- oder Schmelzschweißnähte, erfordern dies nicht.

Aufgrund der hohen Qualität der Ergebnisse ist das Gas-Wolfram-Lichtbogenschweißen ein weit verbreitetes Verfahren zum Verbinden ähnlicher und unterschiedlicher Metalle. Wärmeeintrag und Geschwindigkeit stellen die größten Vorteile dieses Verfahrens dar. Mit diesen Vorteilen wird es zum Beschichten, Schweißen mit Wurzelverbindungen und Füllschweißen in verschiedenen industriellen Anwendungen eingesetzt.

Bei der Erstellung dieses Standards wurde der folgende SEMI-Standard als Referenz verwendet:

• SEMI F78 Anwendung für das Gas-Wolfram-Lichtbogenschweißen (GTA) von Flüssigkeitsverteilungssystemen in Halbleiterfertigungsanwendungen

Visuelle Inspektion und Inspektion von Gas-Wolfram-Lichtbogenquellen (GTA) in Flüssigkeitsverteilungssystemen in Halbleiterfertigungsanwendungen im Rahmen des SEMI F81-Standards mit geschultem und fachkundigem Personal und fortschrittlicher technologischer Ausrüstung sowie zahlreichen Test-, Mess-, Analyse- und Bewertungsstudien Es ist für Unternehmen in verschiedenen Branchen tätig und bietet auch Prüfdienstleistungen für die Abnahme an.