SEMI F104-Testmethode zur Bewertung des Partikelanteils von Komponenten, die in Reinstwasser- und Flüssigchemikalienabgabesystemen verwendet werden

Der SEMI F104-Standard wurde im Rahmen eines internationalen Normungsprogramms namens International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) entwickelt und beschreibt die Anforderungen und präsentiert Testmethoden zur Bewertung und zum Vergleich von Komponenten in Reinstwasser-Flüssigkeitsströmen hinsichtlich des Partikelbeitrags. Diese Norm definiert zwei Testverfahren zur Bewertung des Partikelbeitrags: das Spültestverfahren und das dynamische Testverfahren.

• Das Spültestverfahren bewertet die Leistung im Waschmodus, wenn sich die Komponente in einem statischen Zustand befindet, das heißt, es gibt keine aktiv bewegte Komponente in der zu testenden Komponente. Mit dieser Testmethode erhält man einen Hinweis auf das Waschvolumen, das erforderlich ist, um die Partikelkonzentrationen auf die Spezifikation zu bringen.
• Bei der dynamischen Prüfmethode wird die Leistung während des Betriebs des Bauteils bewertet und ein Hinweis auf den stationären Partikelbeitrag aufgrund der dynamischen Betriebsbedingungen erhalten.

Beide Testmethoden werden auf flüssige chemische und ultrareine Wassersystemkomponenten angewendet, die für den Einsatz in Halbleiterfertigungswerkzeugen und Zusatzgeräten bestimmt sind.

Die in dieser Norm beschriebenen Prüfverfahren sind Prüfungen zur Messung des partikulären Beitrags von Komponenten bei Verwendung von Reinstwasser als Prüfmedium. Für die Zwecke dieser Norm muss Reinstwasser die in der Norm beschriebenen Mindestanforderungen erfüllen. Bei der Anwendung dieser Testmethoden wird ein Messgerät für flüssige optische Partikel verwendet, um die Leistung zu messen. Dieses Gerät wird häufig als Partikelzähler verwendet, um Partikelkontamination in bestimmten sauberen Umgebungen, einschließlich Luft, Wasser und Chemikalien, zu erkennen und zu überwachen. Partikelzähler werden in industriellen Technologien wie elektronischen Komponenten und Baugruppen, pharmazeutischen Arzneimitteln und medizinischen Geräten sowie Öl und Gas verwendet, um sauberere Produktionspraktiken zu unterstützen.

Bei der Erstellung dieses Standards wurden die folgenden SEMI-Standards als Referenz verwendet:

• SEMI E49 Leistungsleitfaden für hochreine und ultrahochreine Rohrleitungen für Unterbaugruppen und Endbaugruppen
• SEMI F57 Spezifikation für Polymerkomponenten, die in Reinstwasser- und Flüssigchemikalienabgabesystemen verwendet werden

Neben den zahlreichen Tests, Messungen, Analysen und Bewertungen, die unsere Organisation für Unternehmen in verschiedenen Branchen anbietet, bieten wir auch Prüfdienstleistungen zur Bestimmung des Partikelgehalts in Komponenten an, die in Reinstwasser- und Flüssigchemikalien-Dosiersystemen gemäß dem SEMI F104-Standard verwendet werden. Dabei setzen wir unser geschultes und erfahrenes Personal sowie unsere fortschrittliche technologische Ausrüstung ein.