Der SEMI-F76-Standard, entwickelt im Rahmen des internationalen Normungsprogramms Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) , definiert ein Prüfverfahren zum Vergleich von Gasaufbereitungskomponenten hinsichtlich ihrer potenziellen Partikelbildung in korrosiven Gasumgebungen. Dieser Standard dient der praktischen Ermittlung von Leistungsdaten für eine Gruppe von Komponenten, die im Rahmen eines Auswahlprozesses verglichen werden sollen. Das beschriebene Prüfverfahren ist anwendbar auf Ventile, Partikelfilter und Niederdruckregler.
SEMI-Standards bieten Herstellern Orientierungshilfen zu den Chemikalien und Materialprozessen, die bei der Herstellung von Halbleiterchips und anderen verwandten Geräten eine Rolle spielen. Dank dieser Standards können Unternehmen internationale Märkte erschließen, Designrisiken minimieren und ihre Produktivität steigern.
Für die Halbleiterindustrie sind hohe Reinheit, chemische Beständigkeit, Dichte und Genauigkeit wichtige Werkzeuge für Produktentwicklungs- und Herstellungsprozesse. Halbleitermaterialien sind Materialien, die durch die Einwirkung mechanischer Arbeit auf sie leitfähige Eigenschaften erlangen. Diese Materialien, die unter normalen Bedingungen isolierend sind, geben einen Teil ihrer Elektronen ab und werden leitend, wenn äußere Einwirkungen wie Wärme, Licht, magnetische Wirkung oder elektrische Spannung angelegt werden. Wenn diese äußere Einwirkung entfernt wird, kehren diese Stoffe wieder in den isolierenden Zustand zurück. Dank dieser Eigenschaften werden Halbleiter häufig in der Elektronik eingesetzt.
SEMI-Standards beziehen sich auch auf gespeicherte/komprimierte Gasquellen und Verteilungssysteme. Es bezieht sich auch allgemein auf hochtoxische Zusatzgase während der Hochtemperatur-Diffusionsschritte.
Bei der Erstellung dieses Standards wurden die folgenden SEMI-Standards als Referenz verwendet:
Neben den zahlreichen Test-, Mess-, Analyse- und Bewertungsstudien, die es für Unternehmen in verschiedenen Branchen anbietet, bietet unsere Organisation mit geschulten Mitarbeitern auch Testdienstleistungen für die Bewertung des Partikelbeitrags von Gassystemkomponenten an, die korrosiven Gasen im Rahmen der Norm SEMI F76 ausgesetzt sind und fachkundiges Personal und fortschrittliche technologische Ausrüstung.
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