SEMI F77, entwickelt im Rahmen des internationalen Normungsprogramms „International Semiconductor Equipment and Materials“ (SEMI), das Aktivitäten für Branchen wie Halbleiter, integrierte Schaltungen, Transistoren, Dioden und Flachbildschirme weltweit umfasst, definiert ein Prüfverfahren zur Bestimmung der relativen Beständigkeit benetzter Oberflächen von Bauteilen gegenüber Lochfraßkorrosion. Diese Bauteile werden in korrosiven Gaszufuhrsystemen für die Halbleiterfertigung eingesetzt. Das Prüfverfahren basiert auf der Norm ASTM G150 der American Society for Testing and Materials (ASTM) (ASTM G150-18: Standardprüfverfahren für die elektrochemische Prüfung der kritischen Lochfraßtemperatur von Edelstählen und verwandten Legierungen). Ziel dieser Norm ist es, zwischen Legierungszusammensetzungen und Prozessen zu unterscheiden, die das Korrosionsverhalten benetzter Oberflächen beeinflussen. Die Details der SEMI-F77-Norm sind in der Norm ASTM G150 enthalten. Für die Anwendung dieses Prüfverfahrens wird empfohlen, die Norm ASTM G150 heranzuziehen.
Die im SEMI F77-Standard beschriebene Testmethode umfasst ein elektrochemisches, auf der kritischen Lochfraßtemperatur basierendes Verfahren, mit dem die Lochfraßkorrosionsbeständigkeit von Teststücken benetzter Oberflächen von Rohren oder repräsentativen bearbeiteten Oberflächen, die für den Einsatz in korrosiven Gassystemen vorgesehen sind, bewertet wird. Lochfraß ist bekanntermaßen eine wichtige Ursache für Korrosionsversagen in Halbleiter-Gasverteilungssystemen, insbesondere bei Komponenten und Rohren, die geschweißt sind und korrosiven Gasen und Feuchtigkeit ausgesetzt sind.
Kurz gesagt ist die SEMI F77-Standardtestmethode eine Adaption der ASTM G150-Standardtestmethode und beschreibt eine Testmethode zur Durchführung der Adaption an Coupons oder nassen Oberflächenabschnitten, die aus Komponenten des Gasversorgungssystems wie Zylindern geschnitten wurden. Dies ist die Nasstauchmethode.
Bei der Erstellung dieses Standards wurde der folgende SEMI-Standard als Referenz verwendet:
Neben den zahlreichen Test-, Mess-, Analyse- und Bewertungsstudien, die es für Unternehmen in verschiedenen Branchen anbietet, bietet unsere Organisation mit geschultem und fachkundigem Personal und fortschrittlicher technologischer Ausrüstung auch Testdienstleistungen zur Bestimmung der elektrochemischen kritischen Lochfraßtemperatur von Edelstahloberflächen an, die in korrosiven Gassystemen im Rahmen der Norm SEMI F77 verwendet werden.
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