Der SEMI F69-Standard wurde im Rahmen eines internationalen Standardprogramms namens International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) entwickelt und ist ein vom Gases Global Technical Committee technisch anerkannter Standard. Diese Norm bietet Prüfverfahren zur Charakterisierung der mechanischen Integrität von Gasverteilungssystemen durch Vibrations- und Stoßprüfungen. Zu den hier empfohlenen Testmethoden gehören Vibrations- (Transportsimulation) und Schocktests von Gasverteilungssystemen (einschließlich konventioneller und Oberflächenmontage) für die Halbleiterverarbeitung.
Die im SEMI F69-Standard definierten Prüfmethoden gelten für Gasverteilungssysteme, die nicht für den Versand verpackt sind. Insbesondere gelten Prüfverfahren für montierte und miteinander verbundene Gasverteilungskomponenten und deren zugehörige Montageplatte, mit oder ohne Blechabschirmung.
Für die Zwecke dieser Norm wird erwartet, dass die Transportvibrationen und -simulationen bei den verwendeten Vibrationspegeln höher als normal sind. Daher werden Transportsimulationstests als akzeptabel angesehen, um die angemessene mechanische Integrität sowohl für die Transport- als auch die Lebenszyklus-Vibrationsbelastung von Gasverteilungssystemen zu beurteilen.
Der Zweck der Stoßprüfung besteht darin, eine detailliertere Bewertung von Geräteausfällen aufgrund von Stößen während des Auspackens, der Installation oder des Feldeinsatzes zu ermöglichen.
Es stellt eine empfohlene mechanische Integrität für die Architektur, das Design und die Montagetechniken von Gasverteilungssystemen dar, wenn die in dieser Norm empfohlenen Tests erfolgreich abgeschlossen werden.
Wenn Gase in großen Mengen verwendet werden, ist ein zentrales Gasverteilungssystem eine praktische Notwendigkeit. Ein gut durchdachtes Verteilersystem senkt die Betriebskosten, steigert die Produktivität und erhöht die Sicherheit. Ein zentrales System ermöglicht die Konsolidierung aller Flaschen an einem Lagerort. Bei dieser Anwendung werden Gase nach ihrer Art getrennt, um die Sicherheit zu erhöhen.
Bei der Erstellung dieses Standards wurde der folgende SEMI-Standard als Referenz verwendet:
Neben zahlreichen Test-, Mess-, Analyse- und Bewertungsstudien für Unternehmen verschiedener Branchen bietet unser Unternehmen mit seinem geschulten und fachkundigen Personal auch Testdienstleistungen für die Übertragungs- und Schockprüfung von Gasverteilungssystemen im Rahmen des SEMI F69-Standards an und fortschrittliche technologische Ausrüstung.
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