Testverfahren zur Bestimmung der Dichtheit von Gasverteilungssystemen mit dem SEMI F106 Helium-Lecksucher

Der SEMI F106-Standard wurde im Rahmen eines internationalen Standardprogramms namens International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) entwickelt, das Aktivitäten zum Nutzen von Branchen wie Halbleiter, integrierte Schaltkreise, Transistoren, Dioden und Flachbildschirme weltweit umfasst. Er ist ein technisch genehmigter Standard des Gases Global Technical Committee. Diese Norm beschreibt ein Prüfverfahren zur Erkennung interner Heliumlecks in Gasverteilungssystemen. Diese Norm deckt sowohl herkömmliche Metall-Gleitringdichtungen als auch oberflächenmontierte Gasverteilungssysteme ab.

Die vorgestellte Testmethode ist auf alle Arten von hochreinen Gasverteilungssystemen anwendbar, die in Halbleiterfertigungsanlagen und vergleichbaren Forschungs- und Entwicklungsbereichen eingesetzt werden.

Helium-Lecktests werden eingesetzt, um mögliche Lecks in verschiedenen Arten von geschlossenen oder abgedichteten Systemen zu erkennen, die Helium als Prüfgas verwenden. Bei diesem Test wird die Leckagekonzentration gemessen und als Leckrate ermittelt.

Die wichtigsten Eigenschaften von Heliumgas, die es ideal für die Dichtheitsprüfung machen, sind:

• Heliumgas ist eines der kleinsten Moleküle, das es ihm ermöglicht, seine Wege zuverlässig und schnell zu kreuzen.
• Heliumgas ist ein Inertgas, interagiert nicht mit den getesteten Komponenten und ist daher sicher in der Anwendung.
• Der von Helium verursachte Geräterauschen ist aufgrund seiner begrenzten Verfügbarkeit in der Atmosphäre von weniger als 5 ppm von Natur aus gering und liefert daher äußerst genaue Berichte.

Kurz gesagt handelt es sich bei heliumbasierten Prüfmethoden um eine hochempfindliche Dichtheitsprüftechnologie, die mit der Erkennung extrem kleiner Lecks ausgestattet ist, die mit anderen Dichtheitsprüfmethoden nicht möglich sind. Bei diesem Test kommt die Hochvakuumtechnik zum Einsatz. Es werden sehr niedrige Schwellenwerte für Lecktests bereitgestellt, ein Maß an Empfindlichkeit, das beispiellose Vergleiche zwischen Verpackungskomponenten ermöglicht.

Neben den zahlreichen Test-, Mess-, Analyse- und Bewertungsstudien, die es für Unternehmen in verschiedenen Branchen anbietet, bietet unsere Organisation mit geschultem und fachkundigem Personal und fortschrittlicher technologischer Ausrüstung auch Testdienstleistungen zur Bestimmung der Leckintegrität von Gasverteilungssystemen mit Helium-Leckdetektoren im Rahmen der Norm SEMI F106 an.