Der SEMI F71-Standard wurde im Rahmen eines internationalen Standardprogramms namens International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) entwickelt, das Aktivitäten zum Nutzen von Branchen wie Halbleiter, integrierte Schaltkreise, Transistoren, Dioden und Flachbildschirme weltweit umfasst. Er ist technisch genehmigt vom Gases Global Technical Committee. ist ein Standard. Das in dieser Norm definierte Prüfverfahren gilt für Gasverteilungssysteme, die in Halbleiterfertigungsanlagen installiert sind.
Dieser Standard erhebt nicht den Anspruch, alle mit seiner Verwendung verbundenen Sicherheitsprobleme (wenn überhaupt welche) zu behandeln. Es liegt in der Verantwortung der Benutzer dieser Norm, vor der Verwendung geeignete Sicherheits- und Gesundheitspraktiken festzulegen und die Anwendbarkeit von Einschränkungen zu bestimmen.
In einem Niederdruck-Gasverteilungssystem ist der Gasdruck in den Haupt- und Versorgungsleitungen im Wesentlichen derselbe wie der, der an die Geräte des Benutzers geliefert wird. In einem solchen System ist auf den separaten Serviceleitungen kein Serviceregler erforderlich. Das Hochdruck-Gasverteilungsrohrsystem arbeitet mit einem höheren Druck als dem dem Benutzer zur Verfügung gestellten Standard-Betriebsdruck. In einem solchen System ist an jeder Versorgungsleitung ein Versorgungsregler erforderlich, um den Druck zu regeln.
Die unterschiedlichen externen Wärmeübertragungsmuster hängen vom Einfluss des Flüssigkeitsdrucks in der Rohrleitung und der Berechnung der Temperaturen als Reaktion auf den jährlichen Umgebungstemperaturzyklus ab. Im Wärmeübertragungsmodell wird der Umgebungstemperaturzyklus durch die Bodenoberflächentemperatur dargestellt, die eine periodische Funktion der Zeit hat. Die Ergebnisse sind jedoch nicht empfindlich gegenüber der Wahl des externen Wärmeübertragungsmusters der Rohrleitungsdrücke. Für den Basisfall, der im Allgemeinen die Erdgasexportpipeline darstellt, ist der Einfluss auf die berechneten Gastemperaturen begrenzt.
Viele Materialien in einem Gasverteilungssystem unterliegen Veränderungen in Abhängigkeit von den Umgebungsfaktoren. Um diese Veränderungen aufzudecken, zielen Widerstandstests gegenüber Umweltbedingungen ab.
Gasverteilungssysteme müssen Gase sicher und effektiv von einer Hochdruckquelle mit dem für jede Anwendung erforderlichen Druck und der Durchflussrate zum Endprozess transportieren.
Neben den zahlreichen Test-, Mess-, Analyse- und Bewertungsstudien, die es für Unternehmen in verschiedenen Branchen anbietet, bietet unsere Organisation mit geschultem und fachkundigem Personal und fortschrittlicher Technologie auch Testdienstleistungen für den Temperaturzyklus des Gasverteilungssystems im Rahmen der Norm SEMI F71 an Ausrüstung.
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