SEMI F113 Testverfahren für Druckwandler, die in Gasverteilungssystemen verwendet werden

SEMI F113 Testverfahren für Druckwandler, die in Gasverteilungssystemen verwendet werden

Im SEMI F113-Standard, der im Rahmen eines internationalen Standardprogramms namens International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) entwickelt wurde, das Aktivitäten zum Nutzen von Industrien wie Halbleiter, integrierte Schaltkreise, Transistoren, Dioden und Flachbildschirme auf der ganzen Welt umfasst , es wird in Gasverteilungssystemen für die Halbleiterverarbeitung eingesetzt Ein Prüfverfahren für elektronische Druckaufnehmer wird beschrieben.

SEMI F113 Testverfahren für Druckwandler, die in Gasverteilungssystemen verwendet werden

Die beschriebene Testmethode dient zum Testen der Leckintegrität, der Aufwärmzeit, der Spannungsgenauigkeit, der Ungenauigkeit, der Linearität, der Wiederholbarkeit, der Hysterese, der Reproduzierbarkeit, des thermischen Koeffizienten, der Vorspannung, des beschleunigten Lebenszyklus und des Prüfdrucks von Druckwandlern mit dem gesamten Druckbereich von 2757.9 oder weniger in Gasverteilungssystemen. Enthält Verfahren.

Bei der Erstellung dieses Standards wurden die folgenden SEMI-Standards als Referenz verwendet:

  • Spezifikationen und Richtlinien für SEMI C59 Stickstoff
  • SEMI E27 Massendurchflussregler und Massendurchflussmesser-Linearitätsleitfaden
  • Druckspezifikationshandbuch für SEMI E28 Massendurchflussregler
  • Leistungsleitfaden für hochreine und ultrahochreine Rohrleitungen SEMI E49 für Unterbaugruppen und Endbaugruppen
  • SEMI E56 Testmethode zur Bestimmung der Genauigkeit, Linearität, Wiederholbarkeit, Kurzzeitreproduzierbarkeit, Hysterese und Totzone von thermischen Massendurchflussreglern
  • SEMI E89 Handbuch zur Messsystemanalyse (MSA)
  • SEMI F1 Spezifikation der Leckintegrität von Rohrleitungssystemen und Komponenten für hochreines Gas
  • SEMI F62 Testmethode zur Bestimmung der Leistungsmerkmale von Massendurchflussreglern anhand von Umgebungs- und Gastemperatureffekten

Die Energietechnik ist auf Druckmessumformer angewiesen, um ein zuverlässiges Energiesystem zu gewährleisten. Druckmessumformer eignen sich hervorragend für Biogas, Erdgas und weitere Energiequellen. Diese Energiequellen erfordern Druckmessungen, um ihre Sicherheit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Branchen, die den Gasdruck überwachen müssen, sind in der Regel solche mit komplexen Systemen, bei denen selbst geringfügige Druckabweichungen katastrophale Folgen haben können.

Unsere Organisation bietet neben zahlreichen Test-, Mess-, Analyse- und Bewertungsstudien für Unternehmen in verschiedenen Bereichen auch Prüfdienstleistungen für Druckwandler an, die in Gasverteilungssystemen im Rahmen der Norm SEMI F113 verwendet werden, mit geschultem und fachkundigem Personal und fortschrittlicher technologischer Ausrüstung Sektoren.

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