Testverfahren zur Bestimmung der Gasaustausch-/Entladungseffizienz des SEMI F80-Gasverteilungssystems

Der SEMI F80-Standard wurde im Rahmen eines internationalen Standardprogramms namens International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) entwickelt, das Aktivitäten zum Nutzen von Branchen wie Halbleiter, integrierte Schaltkreise, Transistoren, Dioden und Flachbildschirme weltweit umfasst. Er ist ein technisch genehmigter Standard des Gases Global Technical Committee. Diese Norm beschreibt ein Prüfverfahren zur Bestimmung der Gasaustausch-/Reinigungseffizienz des Gasverteilungssystems. Diese Norm deckt sowohl herkömmliche Metall-Gleitringdichtungen als auch oberflächenmontierte Gasverteilungssysteme ab. Dieses Testverfahren ist für alle hochreinen Gasverteilungssysteme geeignet, die in Halbleiterfertigungsanlagen und vergleichbaren Forschungs- und Entwicklungsbereichen eingesetzt werden.

Es ist wichtig, die Umgebungsluft aus allen Teilen eines Rohrleitungssystems für hochreines Gas zu entfernen, bevor Prozessgas eingeleitet wird. Dies ist aus zwei Gründen notwendig:

• Die verbleibende Luft verringert die Reinheit des Prozessgases. Dies gilt für jedes Prozessgas, ob gefährlich oder nicht.
• Luft enthält Sauerstoff und Wasserdampf, einige Spezialgase reagieren mit Sauerstoff und die resultierenden Reaktionsprodukte können zu Prozessverunreinigungen und Ausfällen von Verteilerkomponenten führen. Andere Gase bilden bei Kontakt mit Wasserdampf stark korrosive Produkte und beschädigen das Rohrleitungssystem. Korrosion an Geräten ist ebenfalls eine Ursache für Verunreinigungen.

Es ist notwendig, Prozessgas aus allen Teilen des Rohrleitungssystems zu entfernen, bevor es der Umgebungsluft ausgesetzt wird. Die Gründe hierfür lassen sich wie folgt auflisten:

• Viele spezifische Gase sind hochgiftig und stellen eine ernsthafte Gesundheitsgefährdung für Arbeitnehmer dar.
• Einige Gase sind leicht entzündlich oder sogar selbstentzündlich und stellen eine Brand- oder Explosionsgefahr dar.
• Manche Gase hingegen wirken bei Kontakt mit Wasserdampf in der Luft stark korrosiv und verursachen Schäden an Geräten und Anlagen.

Neben den zahlreichen Tests, Messungen, Analysen und Bewertungen, die unsere Organisation für Unternehmen in verschiedenen Branchen durchführt, bieten wir dank unserer geschulten und erfahrenen Mitarbeiter und unserer fortschrittlichen technologischen Ausrüstung auch Prüfdienstleistungen zur Bestimmung der Gasaustausch-/Abflusseffizienz von Gasverteilungssystemen im Rahmen des SEMI F80-Standards an.