Der SEMI F114-Standard wurde im Rahmen eines internationalen Standardprogramms namens International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) entwickelt und definiert eine Testmethode zur Bestimmung organischer Verbindungen auf den nassen Oberflächen von Systemen und Komponenten zur Abgabe von Chemikalien mit ultrahoher Reinheit (UHP).
Diese Testmethode ist auf hochreine chemische Abgabesysteme und Komponenten anwendbar. Beispiele für Tests umfassen Ventile, Regler, Filter und Massendurchflussregler, Rohrleitungen, Schweißverbindungen und Gleitringdichtungsverbindungen. Die beschriebene Prüfmethode wird auch zum Nachweis von Verunreinigungen aus einem Montage- oder Produktionsbereich eingesetzt. Diese Testmethode beschreibt die Methode zur Entfernung und Messung organischer Verunreinigungen auf nassen Oberflächen.
Kurz gesagt kann diese Testmethode auch zur Bewertung der Wirksamkeit verschiedener Wasch- oder Reinigungsverfahren verwendet werden.
Bei der Erstellung dieses Standards wurden die folgenden SEMI-Standards als Referenz verwendet:
Organische Schadstoffe sind kohlenstoffbasierte Chemikalien wie organische Lösungsmittel, Pestizide, erdölbasierte Abfälle, Holz und flüchtige organische Verbindungen (VOCs) in gasförmiger oder flüssiger Phase. Sie haben generell negative Auswirkungen auf die Umwelt. Spuren organischer Schadstoffe in Boden, Wasser, Luft und mitunter auch in Lebensmitteln gelten als gesundheits- und umweltschädlich. Zu den organischen Schadstoffen in gasförmiger oder flüssiger Phase zählen Lösungsmittel, chemische Vorstufen und Zwischenprodukte sowie VOCs in Form von Erdölverbindungen.
Unter den zahlreichen Test-, Mess-, Analyse- und Bewertungsstudien, die es für Unternehmen in verschiedenen Branchen anbietet, bietet unsere Organisation Testdienstleistungen zur Bestimmung organischer Schadstoffe auf den nassen Oberflächen von Verteilungssystemen und Komponenten für ultrahochreine Chemikalien im Rahmen von SEMI F114 an Standard, mit seinem geschulten und fachkundigen Personal und fortschrittlicher technologischer Ausrüstung. bietet auch.
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