SEMI F 64, entwickelt im Rahmen des internationalen Normungsprogramms Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), dessen Aktivitäten Branchen wie Halbleiter, integrierte Schaltungen, Transistoren, Dioden und Flachbildschirme weltweit fördern, definiert ein Prüfverfahren zur Charakterisierung eines Massendurchflussreglers für den Einbau in ein Gasverteilungssystem. Mit diesem Prüfverfahren wird der Einfluss von transienten und stationären Ein- und Auslassdruckbedingungen auf die Leistungsfähigkeit des Massendurchflussreglers ermittelt.
Diese Testmethode bietet eine gemeinsame Grundlage für die Kommunikation zwischen Herstellern und Anwendern hinsichtlich der Prüfung und Erklärung der Druckeffekte von Massendurchflussreglern.
Mit dieser Testmethode werden die Auswirkungen des transienten Drucks vor (Einlass) und nach unten (Auslass) auf den spezifizierten und tatsächlichen Durchfluss bestimmt. Diese Testmethode liefert die Ergebnisse des tatsächlichen Auslassdurchflusses im Vergleich zum spezifizierten Durchfluss- und Massendurchflussregler-Sollwert, der durch den stationären Einlassdruck beeinflusst wird. Die Methode gilt für Massendurchflussregler mit einem maximalen Durchflussbereich von bis zu 1000 sccm (Standardkubikzentimeter pro Minute).
Durch den Druckanstieg wird das Gas komprimiert. Gase haben eine höhere Dichte und nehmen ein kleineres Volumen ein. Mit anderen Worten: Wenn eine bestimmte Gasmasse strömt, ist ihr Volumen kleiner. Da die gleiche Gasmasse durch dasselbe Rohr strömt, nimmt die Geschwindigkeit des komprimierten Gases ab.
Bei Gasanwendungen können Gasdruckschwankungen die Geschwindigkeit des Gases beeinflussen und somit erhebliche Auswirkungen auf Gasdurchflussmessgeräte haben.
Im Wesentlichen ist der Durchfluss ein Maß für den Luftausstoß in Volumen pro Zeiteinheit. Geschwindigkeit gibt an, wie schnell sich Luft pro Zeiteinheit bewegt. Druck ist das Maß für die Kraft, die auf eine Fläche ausgeübt wird.
Zu den zahlreichen Test-, Mess-, Analyse- und Bewertungsstudien, die unsere Organisation für Unternehmen in verschiedenen Branchen anbietet, gehören auch Testdienstleistungen zur Bestimmung der Druckauswirkungen auf den tatsächlichen Durchfluss und für Massendurchflusskontrollgeräte im Rahmen des SEMI F64-Standards , mit seinem geschulten und fachkundigen Personal und seiner fortschrittlichen technologischen Ausrüstung.
Um einen Termin zu vereinbaren, genauere Informationen zu erhalten oder eine Bewertung anzufordern, können Sie uns bitten, unser Formular auszufüllen und Sie zu erreichen.
