Der SEMI F111-Standard, der im Rahmen eines internationalen Normungsprogramms namens Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) entwickelt wurde und Aktivitäten umfasst, die Branchen wie Halbleiter, integrierte Schaltungen, Transistoren, Dioden und Flachbildschirme weltweit zugutekommen, definiert eine Testmethode zur Messung der Partikelabscheideleistung von Gerätelüfterfiltereinheiten (EFFUs), die in Geräten eingebaut sind.
-partikul-temizleme-icin-test-yontemi.jpg "SEMI F111 Equipment Fan Filter Unit (EFFU) Testmethode zur Partikelentfernung")
Da im Inneren des Geräts ein Lüfterpartikelfilter, ein Lüfter und eine Motorbaugruppe installiert sind, ist die Integrität dieser Teile für die Leistung der Lüfterfiltereinheit des Geräts von entscheidender Bedeutung. Daher eignet sich ein herkömmliches Partikelentfernungstestverfahren für Partikelfilter zur Bewertung der Partikelentfernungsleistung der Gerätelüfter-Filtereinheit.
Die in dieser Norm beschriebene Prüfmethode beschreibt eine Bewertungsmethode für eine Gerätelüfterfiltereinheit, die in einem begrenzten Raum installiert ist, um in der Prozessausrüstung erzeugte Partikel zu entfernen. Die Partikelentfernungsleistung von Gerätelüfterfiltereinheiten hängt im Allgemeinen von der Leistung des Filtermediums und der Luftdurchflussrate ab. Um die Leistung einer Gerätelüfter-Filtereinheit zu verstehen, ist es notwendig, gleichzeitig die Filtermedienspezifikation, den Luftdurchsatz und die Integrität der Teile der Gerätelüfter-Filtereinheit zu berücksichtigen. Kurz gesagt zielt diese Testmethode darauf ab, die Systemleistung der Gerätelüfter-Filtereinheit zu demonstrieren.
Die Gerätelüfterfiltereinheit ist eine Art motorisierte Luftfilteranlage. Es dient dazu, schädliche Schwebeteilchen aus der Umgebungsluft zu entfernen und Reinräume, Labore, medizinische Einrichtungen oder Mikroumgebungen mit gereinigter Luft zu versorgen. Diese Geräte verfügen in der Regel über einen eigenen Filter, einen HEPA-Filter und eine intern gesteuerte Ventilatorluftverteilung. Gerätelüfterfiltereinheiten sind flexible und wirtschaftliche Lösungen zur Entfernung von Partikeln aus einseitig belüfteten Geräten.
Bei der Erstellung dieses Standards wurde der folgende SEMI-Standard als Referenz verwendet:
Neben den zahlreichen Test-, Mess-, Analyse- und Bewertungsstudien, die es für Unternehmen in verschiedenen Branchen anbietet, bietet unsere Organisation mit ihrem geschulten und fachkundigen Personal auch Testdienstleistungen für die Partikelreinigung von Gerätelüfterfiltereinheiten (EFFU) im Rahmen der Norm SEMI F111 an und fortschrittliche technologische Ausrüstung.
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