SEMI F101 Gaz Dağıtım Sistemlerinde Basınç Regülatörü Performansının Belirlenmesi İçin Test Yöntemi

SEMI F101 Gaz Dağıtım Sistemlerinde Basınç Regülatörü Performansının Belirlenmesi İçin Test Yöntemi

Uluslararası Yarı İletken Ekipman ve Malzemeler (SEMI) adı verilen bir uluslararası standartlar programı çerçevesinde geliştirilen SEMI F101 standardında, gaz sistemlerine kurulum için düşünülen basınç regülatörlerini test etmeye yönelik bir test yöntemi tanımlanmaktadır. Bu test yönteminin uygulanması ile, yeterlilik amaçları için test edilen düzenleyiciler arasında karşılaştırılabilir veriler sağlaması beklenmektedir. Bu standart, regülatör performans özelliklerini tespit etmek amacı ile bir test yöntemi sunmaktadır.

SEMI F101 Gaz Dağıtım Sistemlerinde Basınç Regülatörü Performansının Belirlenmesi İçin Test Yöntemi

Bu test yöntemi, basınç düzenleyiciler için geçerlidir. Bu özellikleri ölçen test yöntemlerinin şu sırada gerçekleştirilmesi gerekmektedir:

  • Parçacık sayısı
  • Sızıntı
  • Sürünme / kilitlenme
  • Besleme basıncı etkisi
  • Çözünürlük
  • Akış eğrisi, histeresis eğrisi ve çalışma histeresis değerine karşı basınç
  • Tekrarlanabilirlik
  • Basınç stabilitesini ayarlama
  • Adım fonksiyonu geçici tepki
  • Rezonans
  • Akış katsayısı
  • Aşırı basınç
  • Dayanıklılık

Kısaca bu test yöntemi, üretici firmalar ve kullanıcılar arasındaki iletişim için ortak bir temel oluşturmaktadır.

Üretici firmalar, gaz dağıtım sistemlerini, en iyi uygulamalara dayalı olarak tasarlamakta ve ihtiyaçlara uyacak şekilde birçok konfigürasyon oluşturmaktadır. Sistem operatörlerini korumaya, proses çalışma süresini artırmaya ve proses doğruluğunu ve tekrarlanabilirliğini iyileştirmeye yardımcı olmak için standartlara uygun ve yapılandırılabilir gaz dağıtım sistemleri tasarlanmaktadır. Bu süreçte güvenlik ve işlevsellik en önemli faktörlerdir. Gazları yüksek basınçlı bir kaynaktan tesisin geri kalanına, her uygulamanın gerektirdiği basınç ve akış hızında etkin bir şekilde iletmek için, sistemler bir veya bir dizi basınç regülatörü içermektedir. Bu noktada basınç regülatörü performansını belirlemek önemli olmaktadır. Ticari ve endüstriyel kullanıcılar için, operasyonların riske girmemesi bakımından kararlı basınç çok önemlidir.

Bu standart hazırlanırken şu SEMI standartları referans alınmıştır:

  • SEMI F1 Yüksek saflıkta gaz boru sistemleri ve bileşenlerinin sızıntı bütünlüğü spesifikasyonu
  • SEMI F32 Yüksek saflıkta kapatma valflerinde akış katsayının belirlenmesi için test yöntemi

Kuruluşumuz, çeşitli sektörlerdeki işletmeler için verdiği sayısız test, ölçüm, analiz ve değerlendirme çalışmaları arasında, eğitimli ve uzman bir kadro ve gelişmiş teknolojik donanımı ile, SEMI F101 standardı kapsamında gaz dağıtım sistemlerinde basınç regülatörü performansının belirlenmesine yönelik test hizmetleri de vermektedir.

WhatsApp