SEMI F68 Arıtıcı Verimliliğini Belirlemek İçin Test Yöntemi

SEMI F68 Arıtıcı Verimliliğini Belirlemek İçin Test Yöntemi

Uluslararası Yarı İletken Ekipman ve Malzemeler (SEMI) adı verilen bir uluslararası standartlar programı çerçevesinde geliştirilen SEMI F68 standardının amacı, bir matris gazından aktif gaz halindeki bir kirliliği uzaklaştırmak için bir arıtıcının etkinliğini belirlemeye yönelik bir test yöntemi tanımlamaktır. Yani amaç belli bir kirlilik türünü gidermeye yönelik bir gaz arıtıcının etkinliğini tespit etmektir.

SEMI F68 Arıtıcı Verimliliğini Belirlemek İçin Test Yöntemi

Verimlilik testleri, saf bir matris gazına gaz halindeki safsızlıkların ppm (milyonda bir birim) seviyelerini ekleyerek ve aktif safsızlık türleri için test arıtıcısının çıkışını izleyerek gerçekleştirilmektedir. Bu testler, tedarikçi firmanın tavsiye ettiği akış hızında, çalışma sıcaklığında ve basıncında yapılmaktadır. Açıklanan test yöntemi, büyük ölçekli arıtıcılar için geçerlidir.

Belirli limitlerle başa çıkabilmek için arıtıcıların doğru çalışması çok önemlidir. Arıtıcıların bakımı veya işletim sınırlamaları gibi çeşitli faktörler yüzünden verimleri sabit değildir. Bir arıtıcı, nominal olarak yüzde 90 ayırma verimliliğine sahip olabilirken, gerçekte verimlilik yüzde 20 ila yüzde 60 arasında değişebilir. Arıtıcı verimliliği bilinmiyorsa, istenmeyen yakıtların ana motora girme riski ve dolayısıyla yüksek hasarla karşılaşma riski bulunmaktadır.

Küçük partiküller yakıt enjeksiyon bileşenlerine zarar vermekte, yakıt enjeksiyon memesini aşındırmakta ve püskürtme düzenini bozarak yakıtın eşit olmayan bir şekilde dağılmasına neden olmaktadır. Yüksek düzeyde ince partiküllere sahip yakıtın daha fazla ilerleme olasılığını azaltmak için, bir çökeltme, saflaştırma ve filtreleme kombinasyonu benimsenmektedir.

Genel olarak, şu üç durum, arıtıcı verimlilik izlemesini tetiklemektedir:

  • Laboratuvar analiz sonuçları, yakıtta son derece yüksek seviyelerde ince partiküller bulunduğunu gösterdiği zaman
  • Sevk sistemlerinde operasyonel sorunlar ile karşılaşıldığı zaman
  • Planlanmış bir bakım rutininin parçası olarak

Bu standart hazırlanırken şu SEMI standartları referans alınmıştır:

  • SEMI E29 Kütle akış ölçerler ve kütle akış kontrol cihazlarında kullanılan standart basınç, sıcaklık, yoğunluk ve akış birimleri kılavuzu
  • SEMI F6 Tehlikeli gaz boru sistemlerinin ikincil muhafazası kılavuzu
  • SEMI F22 Gaz dağıtım sistemleri kılavuzu

Kuruluşumuz, çeşitli sektörlerdeki işletmeler için verdiği sayısız test, ölçüm, analiz ve değerlendirme çalışmaları arasında, eğitimli ve uzman bir kadro ve gelişmiş teknolojik donanımı ile, SEMI F68 standardı kapsamında arıtıcı verimliliğini belirlemeye yönelik test hizmetleri de vermektedir.

WhatsApp