SEMI F111 Ekipman Fan Filtre Ünitesi (EFFU) Partikül Temizleme İçin Test Yöntemi

SEMI F111 Ekipman Fan Filtre Ünitesi (EFFU) Partikül Temizleme İçin Test Yöntemi

Dünya çapındaki yarı iletken, entegre devreler, transistörler, diyotlar ve düz panel ekran gibi endüstrilerin yararına faaliyetler içeren ve Uluslararası Yarı İletken Ekipman ve Malzemeler (SEMI) adı verilen bir uluslararası standartlar programı çerçevesinde geliştirilen SEMI F111 standardında, ekipmanın içine monte edilmiş ekipman fan filtre ünitesinin (EFFU) partikül giderme özelliğinin ölçülmesine yönelik bir test yöntemi tanımlanmaktadır.

SEMI F111 Ekipman Fan Filtre Ünitesi (EFFU) Partikül Temizleme İçin Test Yöntemi

Ekipmanın içine monte edilmiş bir fan partikül filtresi, fan ve motor grubu olduğundan, bu parçaların bütünlüğü ekipman fan filtre ünitesinin performansı bakımından çok önemlidir. Bu nedenle, partikül filtreleri için geleneksel bir partikül giderme test yöntemi, ekipman fan filtre ünitesinin partikül giderme performansını değerlendirmek için uygun bulunmaktadır.

Bu standartta açıklanan test yöntemi, proses ekipmanı içinde üretilen partikülleri çıkarmak için kapalı bir alana kurulan ekipman fan filtre ünitesi için bir değerlendirme yöntemi açıklamaktadır. Ekipman fan filtre ünitelerinin partikül giderme performansı, genel olarak filtre ortamının performansına ve hava akış hızına bağlı olmaktadır. Bir ekipman fan filtre ünitesinin performansını anlamak için filtre ortamı özelliğini, hava akış hızını ve ekipman fan filtre ünitesi parçalarının bütünlüğünü aynı anda dikkate almak gerekmektedir. Kısaca bu test yöntemi, ekipman fan filtre ünitesinin sistem performansını göstermeyi amaçlamaktadır.

Ekipman fan filtre ünitesi, bir tür motorlu hava filtreleme ekipmanıdır. Havadaki zararlı partikülleri ortam havasından uzaklaştırmak ve temiz odalara, laboratuvarlara, tıbbi tesislere veya mikro ortamlara saflaştırılmış hava sağlamak için kullanılmaktadır. Bu üniteler genellikle kendi filtresini, HEPA filtresini ve dahili olarak kontrol edilen fan hava dağıtımını içermektedir. Ekipman fan filtre üniteleri, tek yönlü havalandırmalı ekipmanların içindeki partikülleri gidermek için esnek ve ekonomik çözümlerdir.

Bu standart hazırlanırken şu SEMI standardı referans alınmıştır:

  • SEMI F38 Kullanım noktası gaz filtrelerinin verimlilik kalifikasyonu için test yöntemi

Kuruluşumuz, çeşitli sektörlerdeki işletmeler için verdiği sayısız test, ölçüm, analiz ve değerlendirme çalışmaları arasında, eğitimli ve uzman bir kadro ve gelişmiş teknolojik donanımı ile, SEMI F111 standardı kapsamında ekipman fan filtre ünitesi (EFFU) partikül temizlemeye yönelik test hizmetleri de vermektedir.

WhatsApp