SEMI F106 Helyum Kaçak Dedektörü ile Gaz Dağıtım Sistemlerinin Sızıntı Bütünlüğünün Belirlenmesi İçin Test Yöntemi

Dünya çapındaki yarı iletken, entegre devreler, transistörler, diyotlar ve düz panel ekran gibi endüstrilerin yararına faaliyetler içeren ve Uluslararası Yarı İletken Ekipman ve Malzemeler (SEMI) adı verilen bir uluslararası standartlar programı çerçevesinde geliştirilen SEMI F106 standardı, Gazlar Küresel Teknik Komitesi tarafından teknik olarak onaylanmış bir standarttır. Bu standartta, gaz dağıtım sistemleri için dahili helyum sızıntıların tespit edilmesine yönelik bir test yöntemi açıklanmaktadır. Bu standart, hem geleneksel metal yüz sızdırmazlığı hem de yüzeye monte gaz dağıtım sistemlerini kapsamaktadır.

Sunulan test yöntemi, yarı iletken üretim tesislerinde ve karşılaştırılabilir araştırma ve geliştirme alanlarında kullanılan her tür yüksek saflıkta gaz dağıtım sistemi için geçerlidir.

Helyum sızıntı testi, helyumu izleyici gaz olarak kullanan farklı tipteki kapalı veya sızdırmaz sistemlerde olası sızıntıyı tespit etmek için uygulanmaktadır. Bu test ile, sızıntı (kaçak) konsantrasyonu ölçülmekte ve sızıntı oranı olarak belirlenmektedir.

Helyum gazının, sızıntı testi için ideal olmasını sağlayan başlıca temel nitelikleri şunlardır:

• Helyum gazı, yolları güvenilir ve hızlı bir şekilde aşmasını sağlayan en küçük moleküllerden biridir.
• Helyum gazı inert bir gazdır, test edilen bileşenlerle etkileşime girmez ve bu nedenle kullanımı güvenlidir.
• Helyumdan kaynaklanan cihaz gürültüsü, atmosferde 5 ppm’den daha düşük bir hızda sınırlı mevcudiyeti nedeniyle doğal olarak düşüktür ve bu nedenle son derece doğru raporlar verir.

Kısaca helyum tabanlı test yöntemleri, diğer sızıntı testi yöntemleriyle mümkün olmayan son derece küçük sızıntıların tespiti ile donatılmış, oldukça hassas bir sızıntı testi teknolojisidir. Bu test yapılırken yüksek vakum tekniği kullanılmaktadır. Paket bileşenleri arasında benzersiz karşılaştırmalara izin veren bir hassasiyet seviyesi olan çok düşük bir sızıntı testi eşikleri sağlanmaktadır.

Kuruluşumuz, çeşitli sektörlerdeki işletmeler için verdiği sayısız test, ölçüm, analiz ve değerlendirme çalışmaları arasında, eğitimli ve uzman bir kadro ve gelişmiş teknolojik donanımı ile, SEMI F106 standardı kapsamında helyum kaçak dedektörü ile gaz dağıtım sistemlerinin sızıntı bütünlüğünün belirlenmesine yönelik test hizmetleri de vermektedir.