SEMI F104 Ultra Saf Su ve Sıvı Kimyasal Dağıtım Sistemlerinde Kullanılan Bileşenlerin Parçacık Katkısının Değerlendirilmesi İçin Test Yöntemi

Uluslararası Yarı İletken Ekipman ve Malzemeler (SEMI) adı verilen bir uluslararası standartlar programı çerçevesinde geliştirilen SEMI F104 standardında, bileşenleri ultra saf su sıvı akışını partikül katkısı açısından değerlendirmek ve karşılaştırmak için gereklilikler açıklanmakta ve test yöntemleri sunulmaktadır. Bu standart, parçacık katkısını değerlendirmek için iki test yöntemi tanımlamaktadır: Durulama testi yöntemi ve dinamik test yöntemi.

Durulama testi yöntemi, bileşen statik durumdayken, yani test edilen bileşen içinde aktif olarak hareket eden bir bileşen yokken, yıkama modunda performans değerlendirilmektedir. Bu test yöntemi ile, partikül seviyelerini spesifikasyona getirmek için gereken yıkama hacminin bir göstergesi elde edilmektedir.
Dinamik test yönteminde ise, bileşenin çalışması sırasında performans değerlendirilmekte ve dinamik çalışma koşullarından dolayı kararlı durumdaki parçacık katkısının bir göstergesi elde edilmektedir.

Her iki test yöntemi de, yarı iletken üretim aletlerinde ve yardımcı ekipmanlarda kullanılması amaçlanan sıvı kimyasal ve ultra saf su sistem bileşenlerine uygulanmaktadır.

Bu standartta açıklanan test yöntemleri, test ortamı olarak ultra saf su kullanılırken bileşenlerin partikül katkısını ölçmeye yönelik testlerdir. Ultra saf su, bu standardın amaçları doğrultusunda, standartta ana hatları ile açıklanan minimum gereksinimlere sahip olmalıdır. Bu test yöntemleri uygulanırken, performansı ölçmek için bir sıvı optik parçacık ölçüm aleti kullanılmaktadır. Bu cihaz genelde hava, su ve kimyasallar dahil olmak üzere belli temiz ortamlardaki partikül kontaminasyonunu tespit etmek ve izlemek için bir partikül sayacı olarak kullanılmaktadır. Temiz üretim uygulamalarını desteklemek için, elektronik bileşenler ve düzenekler, farmasötik ilaç ürünleri ve tıbbi cihazlar ve petrol ve gaz gibi endüstriyel teknolojilerde parçacık sayaçları kullanılmaktadır.

Bu standart hazırlanırken şu SEMI standartları referans alınmıştır:

SEMI E49 Yüksek saflıkta ve ultra yüksek saflıkta borulama performansı, alt montajlar ve nihai montajlar için kılavuz
SEMI F57 Ultra saf su ve sıvı kimyasal dağıtım sistemlerinde kullanılan polimer bileşenleri için spesifikasyon

Kuruluşumuz, çeşitli sektörlerdeki işletmeler için verdiği sayısız test, ölçüm, analiz ve değerlendirme çalışmaları arasında, eğitimli ve uzman bir kadro ve gelişmiş teknolojik donanımı ile, SEMI F104 standardı kapsamında ultra saf su ve sıvı kimyasal dağıtım sistemlerinde kullanılan bileşenlerin parçacık katkısının değerlendirilmesine yönelik test hizmetleri de vermektedir.