SEMI F80 Gaz Dağıtım Sisteminin Gaz Değişimi / Boşaltma Verimliliğinin Belirlenmesi İçin Test Yöntemi

Dünya çapındaki yarı iletken, entegre devreler, transistörler, diyotlar ve düz panel ekran gibi endüstrilerin yararına faaliyetler içeren ve Uluslararası Yarı İletken Ekipman ve Malzemeler (SEMI) adı verilen bir uluslararası standartlar programı çerçevesinde geliştirilen SEMI F80 standardı, Gazlar Küresel Teknik Komitesi tarafından teknik olarak onaylanmış bir standarttır. Bu standartta, gaz dağıtım sisteminin gaz değiştirme / temizleme verimliliğini belirlemeye yönelik bir test yöntemi tanımlanmaktadır. Bu standart, hem geleneksel metal yüz sızdırmazlığı hem de yüzeye monte gaz dağıtım sistemlerini kapsamaktadır. Bu test yöntemi, yarı iletken üretim tesislerinde ve karşılaştırılabilir araştırma ve geliştirme alanlarında kullanılan tüm yüksek saflıkta gaz dağıtım sistemleri için uygun bulunmaktadır.

Proses gazının verilmesinden önce yüksek saflıkta bir gaz boru sisteminin tüm bölümlerinden ortam havasının çıkarılması önemlidir. Bu iki nedenle gerekli olmaktadır:

• Kalan hava, proses gazının saflığını azaltır. Bu durum, tehlikeli olsa da olmasa da herhangi bir proses gazı için geçerlidir.
• Hava oksijen ve su buharı içerir, bazı özel gazlar oksijenle reaksiyona girer ve ortaya çıkan reaksiyon ürünleri proses kontaminasyonuna ve manifold bileşeni arızasına neden olabilir. Diğer gazlar, su buharı ile temas ettiği zaman yüksek derecede aşındırıcı ürünler oluşturur ve boru sistemine zarar verir. Ekipman korozyonu da bir kirlenme nedenidir.

Ortam havasında maruz kalmadan önce boru sisteminin herhangi bir bölümünden proses gazını çıkarmak gerekir. Bunun nedenleri şu şekilde sayılabilir:

• Birçok özel gaz son derece zehirlidir ve çalışanlar için ciddi bir sağlık tehlikesi oluşturur.
• Bazı gazlar oldukça yanıcı ve hatta kendiliğinden tutuşabilir özelliktedir ve yangın veya patlama tehlikesi oluşturur.
• Bazı gazlar ise, havada bulunan su buharı ile temas ettiğinde oldukça aşındırıcı hale gelir ve ekipman ve tesislere zarar verir.

Kuruluşumuz, çeşitli sektörlerdeki işletmeler için verdiği sayısız test, ölçüm, analiz ve değerlendirme çalışmaları arasında, eğitimli ve uzman bir kadro ve gelişmiş teknolojik donanımı ile, SEMI F80 standardı kapsamında gaz dağıtım sisteminin gaz değişimi / boşaltma verimliliğinin belirlenmesine yönelik test hizmetleri de vermektedir.