SEMI F112 Sıva Üstü ve Konvansiyonel Gaz Dağıtım Sistemlerinin Nem Kurutma Özelliklerinin Boşluk Halkalı Spektroskopi (CRDS) İle Belirlenmesi İçin Test Yöntemi

Uluslararası Yarı İletken Ekipman ve Malzemeler (SEMI) adı verilen bir uluslararası standartlar programı çerçevesinde geliştirilen SEMI F112 standardında, entegre gaz dağıtım sistemlerinin yüzey montajının ve boşluk halkalı spektroskopi (CRDS) analizörlerini kullanan geleneksel gaz dağıtım sistemlerinin nem kuruma özelliklerinin (yani çıkarılabilir nem miktarının) belirlenmesine yönelik bir test yöntemi tanımlanmaktadır.

Bu test yönteminin sonuçları, tasarıma dayalı olarak gaz dağıtım sisteminin niteliksel sıralaması için kullanılmaktadır. Ayrıca, bir gaz dağıtım sistemi davranışının sayısal simülasyonu için girdi olarak yeterli bilgi sahibi olan bir kullanıcı tarafından da kullanılabilir.

Bu standart hazırlanırken şu SEMI standartları referans alınmıştır:

• SEMI C15 ppm ve ppb nem standartları için test yöntemi
• SEMI F1 Yüksek saflıkta gaz boru sistemleri ve bileşenlerinin sızıntı bütünlüğü spesifikasyonu

Boşluk halkalı spektroskopi (CRDS), yarı iletken ve LED üretim endüstrilerinde olduğu kadar endüstriyel gaz ve kimyasal üretim, taşıma ve dağıtımda yüksek saflıktaki proses gazlarındaki nemi izlemek için iyi bilinen ve kullanılan bir tekniktir. Bu doğru ve uygun maliyetli nem izleme tekniğinin faydaları, SEMI gibi endüstri standardı yayınlayan kuruluşların dikkatini çekmektedir.

SEMI F112 standardında sunulan test yöntemi, kullanıcıların gaz dağıtım sistemleri tasarımlarına göre niteliksel olarak değerlendirmesine ve sıralamasına olanak tanımaktadır. Bu standart, başlıca şu uygulama alanlarını kapsamaktadır:

• Yüzeye monte gaz dağıtım sistemleri
• Konvansiyonel gaz dağıtım sistemleri
• Yeni boru tesisatlarının kalifikasyonu
• Yeni gaz dağıtım tasarımlarının kalifikasyonu

Genel olarak SEMI standartları, ürün kalitesini ve güvenilirliğini istikrarlı bir tedarik ile geliştirmeyi amaçlayan, tedarikçiler ve müşteriler arasında gönüllü teknik anlaşmalardır. Bu standartlar, dünya çapında iş fırsatları sağlarken üretkenliği artırmanın güçlüklerini karşılamak amacı ile ürünlerin küresel uyumluluğunu sağlamaktadır.

Kuruluşumuz, çeşitli sektörlerdeki işletmeler için verdiği sayısız test, ölçüm, analiz ve değerlendirme çalışmaları arasında, eğitimli ve uzman bir kadro ve gelişmiş teknolojik donanımı ile, SEMI F112 standardı kapsamında sıva üstü ve konvansiyonel gaz dağıtım sistemlerinin nem kurutma özelliklerinin boşluk halkalı spektroskopi (CRDS) ile belirlenmesine yönelik test hizmetleri de vermektedir.