SEMI F73 Paslanmaz Çelik Bileşenlerin Islanmış Yüzey Durumunun Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) Değerlendirmesi İçin Test Yöntemi

Uluslararası Yarı İletken Ekipman ve Malzemeler (SEMI) adı verilen bir uluslararası standartlar programı çerçevesinde geliştirilen SEMI F73 standardında, yüksek saflıkta gaz dağıtım sistemlerine montajı amaçlanan paslanmaz çelik bileşenlerin ıslak yüzeylerini test etmek için tek tip bir test yöntemi tanımlanmaktadır. Bu test yöntemi ile, ıslak yüzeylerde görülen mikroskobik yüzey kusurlarının ve kirleticilerin oluşumu, sıklığı ve bazı durumlarda kimliği karakterize edilmektedir.

Bu test yönteminin sonuçları ile yüksek saflıkta gaz dağıtım sistemlerinin hizmet verdiği proseslerde, proses gazlarının kontaminasyonu veya ürün verimleri arasında doğrudan bir ilişki bulunmaktadır. Bu test yönteminin uygulanmasının, bileşenlerin kalifikasyonu amacı ile bu yöntemin çeşitli kullanıcıları arasında karşılaştırılabilir ve tekrarlanabilir sonuçlar vermesi amaçlanmıştır.

Bu standartta tanımlanan test yönteminin amacı, yüzey durumuna ilişkin önemli parametrelerin kesin ve tekrarlanabilir ölçümlerini elde edecek genel bir aletsel parametreler ve koşullar kümesini tanımlamaktır.

Bu test yöntemi, yüzey bitirme ve temizleme işlemlerinin etkinliğini belirlemek için paslanmaz çelik boru, bağlantı parçaları, valfler ve diğer bileşenlerdeki ıslak yüzeyler için geçerlidir. Bu yöntem, çukurlar, inklüzyonlar, çizikler, artık proses işaretleri, tane sınırları ve ıslanan yüzeylerdeki kontaminasyon dahil olmak üzere yüzey kusurlarını belirlemek için uygulanmaktadır. Ancak, numune hazırlama sırasında oluşan herhangi bir yüzey hasarı bu değerlendirmenin dışında tutulmalıdır.

Taramalı elektron mikroskobu (SEM), odaklanmış bir elektron demeti kullanılarak, numune yüzeyini tarayan ve görüntü elde eden bir elektron mikroskobudur. Elektronlar numunedeki atomlarla etkileşmekte ve numune yüzeyindeki kompozisyon hakkında bilgiler içeren farklı sinyaller üretmektedir. Standart tarama cihazları, yüksek vakumda, kuru ve iletken yüzeyleri incelemek için uygundur. Ancak düşük vakumda, nemli koşullarda ve çok düşük sıcaklıklardan yüksek sıcaklıklara değişen koşullarda çalışan tarama cihazları da bulunmaktadır.

Kuruluşumuz, çeşitli sektörlerdeki işletmeler için verdiği sayısız test, ölçüm, analiz ve değerlendirme çalışmaları arasında, eğitimli ve uzman bir kadro ve gelişmiş teknolojik donanımı ile, SEMI F73 standardı kapsamında paslanmaz çelik bileşenlerin ıslanmış yüzey durumunun taramalı elektron mikroskobu (SEM) ile değerlendirilmesine yönelik test hizmetleri de vermektedir.