Uluslararası Yarı İletken Ekipman ve Malzemeler (SEMI) adı verilen bir uluslararası standartlar programı çerçevesinde geliştirilen SEMI F70 standardının , Gazlar Küresel Teknik Komitesi tarafından teknik olarak onaylanmış bir standarttır. Bu standardın amacı, sistemden akan gaza ilave olan partikül sayısı açısından bir gaz dağıtım sisteminin partikül katkı performansını ölçmek için standart bir metodoloji ve test yöntemi sağlamaktır. Bu standartlaştırılmış prosedürün gaz dağıtım sistemi tedarikçileri, ekipman tedarikçileri ve son kullanıcılar tarafından yaygın olarak kullanılması amaçlanmıştır.
Söz konusu test yöntemi, yarı iletken üretim ekipmanlarında kullanılan yüzeye monte edilen geleneksel gaz dağıtım sistemleri için geçerlidir. Testler sırasında bu standarda bağlı SEMI F70.1-0320 standardı dikkate alınmaktadır (darbeli test yoluyla gaz dağıtım sisteminin ve bileşenlerinin parçacık katkısının belirlenmesi için test yöntemi).
Bir gaz dağıtım sistemi tasarlamada en önemli konulardan biri her kullanım noktasında gereken gaz saflığı seviyesidir. Gaz saflığının korunması, merkezi bir sistemle basitleştirilmiştir. Kurulum için malzeme seçimi baştan sona tutarlı olmalıdır. Örneğin, araştırma sınıfı bir gaz kullanılıyorsa, gaz akışının kirlenmesini önlemek için tüm paslanmaz çelik konstrüksiyon ve diyaframlı paketsiz kapatma vanaları kullanılmalıdır. Genel olarak, neredeyse tüm uygulamaları tanımlamak için üç saflık seviyesi bulunmaktadır: çok amaçlı saflık, yüksek saflık ve ultra yüksek saflık.
SEMI standartları ve güvenlik uygulamaları, kullanımlarına yönelik tüm güvenlik sorunlarını ele alma iddiasında değildir. Uygun güvenlik ve sağlık uygulamaları oluşturmak ve kullanımdan sınırlamaların uygulanabilirliğini belirlemek, standartların kullanıcılarının sorumluluğundadır.
Kısaca SEMI F70 standardının amacı, sistemden akan gaza eklenen partikül sayısı açısından bir gaz dağıtım sisteminin partikül katkı performansını ölçmeye yönelik bir yöntem sunmaktır.
Bu standart hazırlanırken şu SEMI standartları referans alınmıştır:
Kuruluşumuz, çeşitli sektörlerdeki işletmeler için verdiği sayısız test, ölçüm, analiz ve değerlendirme çalışmaları arasında, eğitimli ve uzman bir kadro ve gelişmiş teknolojik donanımı ile, SEMI F70 standardı kapsamında gaz dağıtım sisteminin parçacık katkısının belirlenmesi için test hizmetleri de vermektedir.
Randevu almak, daha detaylı bilgi edinmek yada değerlendirme talep etmek için formumuzu doldurarak size ulaşmamızı isteyebilirsiniz.
EUROLAB, raporlama ve belgelendirme faaliyetlerini, United Accreditation Foundation (UAF), Türk Akreditasyon Kurumu (TÜRKAK), Enterprise Accreditation Foundation (EAF) kuruluşundan sağladığı akreditasyona dayanarak sürdürmektedir. Enterprise Accreditation Foundation (EAF), aynı zamanda Birleşmiş Milletler (UN GLOBAL COMPACT) imzacısıdır.
