SEMI F64 Kütle Akış Kontrol Cihazları için Gösterilen ve Gerçek Akış Üzerindeki Basınç Etkilerinin Belirlenmesi İçin Test Yöntemi

SEMI F64 Kütle Akış Kontrol Cihazları için Gösterilen ve Gerçek Akış Üzerindeki Basınç Etkilerinin Belirlenmesi İçin Test Yöntemi

Dünya çapındaki yarı iletken, entegre devreler, transistörler, diyotlar ve düz panel ekran gibi endüstrilerin yararına faaliyetler içeren ve Uluslararası Yarı İletken Ekipman ve Malzemeler (SEMI) adı verilen bir uluslararası standartlar programı çerçevesinde geliştirilen SEMI F64 standardında, bir gaz dağıtım sistemine kurulum için düşünülen bir kütle akış kontrolörünü karakterize etmek için bir test yöntemi tanımlanmaktır. Bu test yöntemi, geçici ve kararlı durum giriş ve çıkış basıncı koşullarının kütle akış kontrolörü performansı üzerindeki etkisini tespit etmek için uygulanmaktadır.

SEMI F64 Kütle Akış Kontrol Cihazları için Gösterilen ve Gerçek Akış Üzerindeki Basınç Etkilerinin Belirlenmesi İçin Test Yöntemi

Bu test yöntemi, kütle akış kontrolörü basınç etkilerinin test edilmesi ve açıklanması ile ilgili olarak üretici firmalar ve kullanıcılar arasındaki iletişim için ortak bir temel oluşturmaktadır.

Bu test yöntemi ile, belirtilen ve gerçek akış üzerindeki yukarı akış (giriş) ve aşağı akış (çıkış) geçici basınç etkileri belirlenmektedir. Bu test yöntemi, sabit durum giriş basıncından etkilenen kütle akış kontrolörü ayar noktası ve belirtilen akışa karşı gerçek çıkış akışının sonuçlarını vermektedir. Yöntem maksimum akış aralığı 1000 sccm’ye kadar (dakika başına standart kübik santimetre) olan kütle akış kontrolörleri için geçerlidir.

Basıncın artması gazın sıkıştırılmasına neden olur. Gazların yoğunluğu daha yüksektir ve daha küçük bir hacim kaplar. Başka bir deyişle, belli bir gaz kütlesi akıyorsa hacmi daha küçüktür. Gazın aynı kütlesi aynı borudan aktığı için sıkıştırılmış gazın hızı düşer.

Gaz uygulamalarında gaz basıncı dalgalanmaları gazın hızını etkileyebilir, dolayısıyla gaz akışı ölçüm cihazlarını önemli ölçüde etkiler.

Esasen akış, birim zaman başına hacim cinsinden hava çıkışının bir ölçüsüdür. Hız, havanın birim zamanda ne kadar hızlı hareket ettiğini ifade eder. Basınç ise, bir alana uygulanan kuvvetin ölçüsüdür.

Kuruluşumuz, çeşitli sektörlerdeki işletmeler için verdiği sayısız test, ölçüm, analiz ve değerlendirme çalışmaları arasında, eğitimli ve uzman bir kadro ve gelişmiş teknolojik donanımı ile, SEMI F64 standardı kapsamında kütle akış kontrol cihazları için gösterilen ve gerçek akış üzerindeki basınç etkilerinin belirlenmesine yönelik test hizmetleri de vermektedir.

WhatsApp