SEMI F114 Ultra Yüksek Saflıkta Kimyasal Dağıtım Sistemleri ve Bileşenlerinin Islak Yüzeylerinde Bulunan Organik Kirleticilerin Belirlenmesi İçin Test Yöntemi

SEMI F114 Ultra Yüksek Saflıkta Kimyasal Dağıtım Sistemleri ve Bileşenlerinin Islak Yüzeylerinde Bulunan Organik Kirleticilerin Belirlenmesi İçin Test Yöntemi

Uluslararası Yarı İletken Ekipman ve Malzemeler (SEMI) adı verilen bir uluslararası standartlar programı çerçevesinde geliştirilen SEMI F114 standardında, ultra yüksek saflıkta (UHP) kimyasal dağıtım sistemleri ve bileşenlerinin ıslak yüzeyleri üzerindeki organik bileşikleri belirlemeye yönelik bir test yöntemi tanımlanmaktadır.

SEMI F114 Ultra Yüksek Saflıkta Kimyasal Dağıtım Sistemleri ve Bileşenlerinin Islak Yüzeylerinde Bulunan Organik Kirleticilerin Belirlenmesi İçin Test Yöntemi

Bu test yöntemi, ultra yüksek saflıkta kimyasal dağıtım sistemleri ve bileşenleri için geçerlidir. Test örnekleri arasında valfler, regülatörler, filtreler ve kütle akış kontrolörleri, boru tesisatı, kaynak bağlantı parçaları ve yüzey contası bağlantı parçaları yer almaktadır. Açıklanan test yöntemi, bir montaj veya üretim alanından kaynaklanan kontaminasyonu tespit etmek için de kullanılmaktadır. Bu test yöntemi, ıslak yüzeylerde bulunan organik kirleticileri çıkarma ve ölçme yöntemini ayrıntıları ile vermektedir.

Kısaca bu test yöntemi, çeşitli yıkama veya temizleme işlemlerinin etkinliğini değerlendirmek için de kullanılabilir.

Bu standart hazırlanırken şu SEMI standartları referans alınmıştır:

  • SEMI E49.8 Yarı iletken imalat ekipmanlarında yüksek saflıkta ve ultra yüksek saflıkta gaz dağıtım sistemleri kılavuzu
  • SEMI F20 Genel amaçlı, yüksek saflıkta ve ultra yüksek saflıkta yarı iletken imalat uygulamalarında kullanılan bileşenler için 316L paslanmaz çelik çubuk, dövme parçalar, ekstrüde şekiller, plaka ve borular için spesifikasyon

Organik kirleticiler, örneğin organik çözücüler, pestisitler, petrol bazlı atıklar, kereste ve gaz veya sıvı fazdaki uçucu bileşikler gibi karbon bazlı kimyasallar olarak tanımlanmaktadır. Organik kirleticiler genelde çevre üzerinde olumsuz etkilere neden olur. Toprakta, suda, havada ve bazen yiyeceklerde bulunan organik kirletici kalıntılarının eser seviyeleri, insan ve çevre sağlığı için zararlı kabul edilmektedir. Gaz veya sıvı fazdaki organik kirleticiler, çözücüler, kimyasal öncüler ve ara ürünler, petrol bileşikleri şeklinde uçucu organik bileşikler (VOC’ler) içerebilir.

Kuruluşumuz, çeşitli sektörlerdeki işletmeler için verdiği sayısız test, ölçüm, analiz ve değerlendirme çalışmaları arasında, eğitimli ve uzman bir kadro ve gelişmiş teknolojik donanımı ile, SEMI F114 standardı kapsamında ultra yüksek saflıkta kimyasal dağıtım sistemleri ve bileşenlerinin ıslak yüzeylerinde bulunan organik kirleticilerin belirlenmesine yönelik test hizmetleri de vermektedir.

WhatsApp