SEMI F76 Aşındırıcı Gaza Maruz Kalmış Gaz Sistemi Bileşenlerinden Parçacık Katkısının Değerlendirilmesi İçin Test Yöntemi

SEMI F76 Aşındırıcı Gaza Maruz Kalmış Gaz Sistemi Bileşenlerinden Parçacık Katkısının Değerlendirilmesi İçin Test Yöntemi

Uluslararası Yarı İletken Ekipman ve Malzemeler (SEMI) adı verilen bir uluslararası standartlar programı çerçevesinde geliştirilen SEMI F76 standardında, aşındırıcı gaz hizmetinde potansiyel parçacık üretimi için gaz işleme bileşenlerini karşılaştırmaya yönelik bir test yöntemi tanımlanmaktadır. Bu standart, bir seçim sürecinde karşılaştırılacak bir grup bileşen için performans verileri üretmenin pratik bir yolu olarak tasarlanmıştır. Açıklanan test yöntemi, valfler, partikül filtreleri ve düşük basınç regülatörleri için geçerlidir.

SEMI F76 Aşındırıcı Gaza Maruz Kalmış Gaz Sistemi Bileşenlerinden Parçacık Katkısının Değerlendirilmesi İçin Test Yöntemi

SEMI standartları üretici firmalara, yarı iletken yongaların ve diğer ilgili cihazların üretiminde yer alan kimyasal maddeler ve malzeme süreçleri konusunda rehberlik etmektedir. Bu standartlar sayesinde firmalar, uluslararası pazarlara girebilmekte, tasarım risklerini en aza indirmekte ve verimliliklerini yükseltmektedir.

Yarı iletken sektörü için, yüksek saflıkta, kimyasal direnç, yoğunluk ve doğruluk ürün gelişimi ve üretim süreçleri için önemli araçlardır. Yarı iletken maddeler, üzerine uygulanan mekanik işin etkisi ile iletken özelliği kazanan maddelerdir. Normal koşullar altında yalıtkan olan bu maddeler ısı, ışık, manyetik etki veya elektriksel gerilim gibi dış etkiler uygulandığı zaman, bir kısım elektronlarını serbest hale geçirmekte ve iletken duruma gelmektedir. Uygulanan bu dış etki ortadan kaldırıldığı zaman, bu maddeler tekrar yalıtkan duruma geri döner. Bu özellikleri sayesinde yarı iletkenler, elektronik alanında yaygın olarak kullanılmaktadır.

SEMI standartları aynı zamanda, depolanmış / basınçlı gaz kaynakları ve dağıtım sistemleri ile ilgilidir. Ayrıca yüksek sıcaklıktaki difüzyon aşamaları sırasında genel olarak oldukça zehirli katkı gazlarına da atıfta bulunmaktadır.

Bu standart hazırlanırken şu SEMI standartları referans alınmıştır:

  • SEMI C59 Azot için spesifikasyon
  • SEMI E66 Kütle akış kontrol cihazları tarafından parçacık katkısının belirlenmesi için test yöntemi
  • SEMI F43 kullanım noktası gaz arıtma cihazları ve gaz filtreleri ile parçacık katkısının belirlenmesi için test yöntemi

Kuruluşumuz, çeşitli sektörlerdeki işletmeler için verdiği sayısız test, ölçüm, analiz ve değerlendirme çalışmaları arasında, eğitimli ve uzman bir kadro ve gelişmiş teknolojik donanımı ile, SEMI F76 standardı kapsamında aşındırıcı gaza maruz kalmış gaz sistemi bileşenlerinden parçacık katkısının değerlendirilmesine yönelik test hizmetleri de vermektedir.

WhatsApp