SEMI F72Auger Elektron Spektroskopisi (AES) İçin Test Yöntemi Pasifleştirilmiş 316L Paslanmaz Çelik Bileşenlerin Islak Yüzeylerinin Testleri

SEMI F72Auger Elektron Spektroskopisi (AES) İçin Test Yöntemi Pasifleştirilmiş 316L Paslanmaz Çelik Bileşenlerin Islak Yüzeylerinin Testleri

Uluslararası Yarı İletken Ekipman ve Malzemeler (SEMI) adı verilen bir uluslararası standartlar programı çerçevesinde geliştirilen SEMI F72 standardının amacı, yüksek saflıkta bir gaz dağıtım sistemine kurulum için düşünülen pasifleştirilmiş 316L paslanmaz çelik bileşenlerin yüzey bileşimini karakterize etmeye yönelik bir test yöntemini tanımlamaktır. Bu test yöntemi, pasivasyonun etkinliğinin bir ölçüsü olarak paslanmaz çelik boru, bağlantı parçaları, valfler ve diğer bileşenlerin ıslak yüzeylerine uygulanmak üzere tasarlanmıştır. Pasivasyon işlemi, pas sökücü asit kullanımı sonrasında demir üzerinde nötrleme işleminin yapılmasıdır.

SEMI F72Auger Elektron Spektroskopisi (AES) İçin Test Yöntemi Pasifleştirilmiş 316L Paslanmaz Çelik Bileşenlerin Islak Yüzeylerinin Testleri

Bu test yönteminin amacı, kromla zenginleştirilmiş pasif oksit tabakası içinde tekrarlanabilir ölçümler elde edecek genel bir alet parametreleri ve koşulları setini tanımlamaktır. Paslanmaz çelik yüzeylerin kromla zenginleştirilmiş oksit tabakasının bileşimini ve kalınlığını karakterize etmek ve boru, bağlantı parçaları, valfler ve diğer bileşenlerde yüzey kontaminasyonunu tespit etmek için bu test yöntemi hazırlanmıştır. Yöntem, yüzey element bileşiminin Auger elektron spektroskopisi (AES) ile tespit edilmesini ve ölçülmesini içermektedir. Bu test yöntemi ayrıca, alınan yüzeyden oksit katmanları boyunca ve ana metale uzanan krom, demir, nikel, oksijen ve karbonun derinlik kompozisyon profili için test yöntemini de açıklamaktadır. Bu ölçüm, pasifleştirilmiş bölge boyunca oksit kalınlığı ve krom zenginleştirme bilgisi sağlamaktadır.

Auger elektron spektroskopisi (AES) kullanılarak numune yüksek enerjiye sahip elektronlar tarafından bombardıman tabi tutulur ve hedefteki atomlardan bazı elektronlar koparak atomlar iyonize olur. İyonize olan atom kararsız olduğu için dış orbitallerden gelen bir elektron iç orbitaldeki elektron boşluğunu doldurur. Bu yöntem çok güçlü bir görüntü analiz tekniğidir.

Bu standart hazırlanırken şu SEMI standartları referans alınmıştır:

  • SEMI C57 Argon için spesifikasyon
  • SEMI C59 Azot için spesifikasyon

Kuruluşumuz, çeşitli sektörlerdeki işletmeler için verdiği sayısız test, ölçüm, analiz ve değerlendirme çalışmaları arasında, eğitimli ve uzman bir kadro ve gelişmiş teknolojik donanımı ile, SEMI F72 standardı kapsamında Auger elektron spektroskopisi (AES) için test yöntemi pasifleştirilmiş 316L paslanmaz çelik bileşenlerin ıslak yüzeylerinin oksit katmanının değerlendirilmesine yönelik test hizmetleri de vermektedir.

WhatsApp