Metoda testowa SEMI F101 do określania wydajności regulatora ciśnienia w systemach dystrybucji gazu

Opracowany w ramach międzynarodowego programu normalizacyjnego o nazwie International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), standard SEMI F101 określa metodę testowania regulatorów ciśnienia rozważanych do instalacji w systemach gazowych. Oczekuje się, że zastosowanie tej metody badawczej zapewni porównywalne dane między regulatorami zbadanymi do celów kwalifikacyjnych. W niniejszej normie podano metodę badań w celu określenia charakterystyk działania regulatora.

Niniejsza metoda badania ma zastosowanie do regulatorów ciśnienia. Metody badań, które mierzą te właściwości, należy przeprowadzać w następującej kolejności:

• Liczba cząstek
• nieszczelność
• Pełzanie / awaria
• Efekt ciśnienia zasilania
• rozkład
• Krzywa przepływu, krzywa histerezy i ciśnienie w funkcji histerezy roboczej
• Powtarzalność
• Regulacja stabilności ciśnienia
• funkcja skokowa odpowiedź przejściowa
• rezonans
• współczynnik przepływu
• Nadciśnienie
• wytrzymałość

Krótko mówiąc, ta metoda testowa zapewnia wspólną podstawę komunikacji między producentami a użytkownikami.

Producenci projektują swoje systemy dystrybucji gazu w oparciu o najlepsze praktyki i tworzą wiele konfiguracji dostosowanych do potrzeb. Zgodne ze standardami i konfigurowalne systemy dystrybucji gazu zostały zaprojektowane, aby pomóc chronić operatorów systemów, wydłużyć czas bezawaryjnej pracy procesu oraz poprawić dokładność i powtarzalność procesu. Bezpieczeństwo i funkcjonalność to najważniejsze czynniki w tym procesie. Systemy obejmują jeden lub zestaw regulatorów ciśnienia, aby skutecznie dostarczać gazy ze źródła wysokiego ciśnienia do pozostałej części obiektu przy ciśnieniu i natężeniu przepływu wymaganym dla każdego zastosowania. W tym momencie ważne jest określenie wydajności regulatora ciśnienia. Dla użytkowników komercyjnych i przemysłowych stabilne ciśnienie jest niezbędne, aby nie zakłócać działania.

Podczas przygotowywania niniejszego standardu jako odniesienie przyjęto następujące standardy SEMI:

• SEMI F1 Specyfikacja szczelności systemów i komponentów rurociągów gazowych o wysokiej czystości
• SEMI F32 Metoda badawcza do wyznaczania współczynnika przepływu w zaworach odcinających o wysokiej czystości

Spośród licznych testów, pomiarów, analiz i ocen, jakie nasza organizacja świadczy na rzecz przedsiębiorstw z różnych sektorów, oferujemy również usługi testowania mające na celu określenie wydajności regulatorów ciśnienia w systemach dystrybucji gazu w zakresie normy SEMI F101, dzięki naszej wykwalifikowanej i doświadczonej kadrze oraz zaawansowanemu technologicznie sprzętowi.