Metoda testowa SEMI F114 do oznaczania zanieczyszczeń organicznych w mokrych powierzchniach chemicznych systemów dostarczania i komponentów o ultra wysokiej czystości

Opracowany w ramach międzynarodowego programu normalizacyjnego o nazwie International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), standard SEMI F114 definiuje metodę testową do oznaczania związków organicznych na mokrych powierzchniach systemów i komponentów chemicznych o ultra wysokiej czystości (UHP).

Ta metoda badawcza ma zastosowanie do systemów i komponentów dostarczania chemikaliów o ultrawysokiej czystości. Próbki testowe obejmują zawory, regulatory, filtry i regulatory przepływu masowego, rurociągi, złączki spawane i złączki uszczelnienia czołowego. Opisana metoda testowa jest również stosowana do wykrywania zanieczyszczeń z obszaru montażu lub produkcji. Ta metoda testowa szczegółowo opisuje metodę usuwania i pomiaru zanieczyszczeń organicznych znajdujących się na mokrych powierzchniach.

Krótko mówiąc, ta metoda testowa może być również stosowana do oceny skuteczności różnych procesów prania lub czyszczenia.

Podczas przygotowywania niniejszego standardu jako odniesienie przyjęto następujące standardy SEMI:

• SEMI E49.8 Przewodnik po systemach dystrybucji gazu o wysokiej i bardzo wysokiej czystości w sprzęcie do produkcji półprzewodników
• Specyfikacja SEMI F20 dla prętów ze stali nierdzewnej 316L, odkuwek, kształtowników wytłaczanych, płyt i rur do komponentów stosowanych w produkcji półprzewodników ogólnego przeznaczenia, o wysokiej i bardzo wysokiej czystości

Zanieczyszczenia organiczne definiuje się jako związki chemiczne na bazie węgla, takie jak rozpuszczalniki organiczne, pestycydy, odpady ropopochodne, drewno i związki lotne w fazie gazowej lub ciekłej. Zanieczyszczenia organiczne zazwyczaj negatywnie wpływają na środowisko. Śladowe ilości pozostałości zanieczyszczeń organicznych w glebie, wodzie, powietrzu, a czasami w żywności, są uważane za szkodliwe dla zdrowia ludzi i środowiska. Zanieczyszczenia organiczne w fazie gazowej lub ciekłej mogą obejmować rozpuszczalniki, prekursory i półprodukty chemiczne oraz lotne związki organiczne (LZO) w postaci związków ropopochodnych.

Wśród licznych badań testowych, pomiarowych, analitycznych i ewaluacyjnych, które zapewnia przedsiębiorstwom z różnych sektorów, nasza organizacja świadczy usługi testowe w zakresie oznaczania zanieczyszczeń organicznych na mokrych powierzchniach systemów dystrybucji chemikaliów o bardzo wysokiej czystości i komponentów w zakresie SEMI F114 standard, ze swoim wyszkolonym i doświadczonym personelem oraz zaawansowanym sprzętem technologicznym.