Norma SEMI F76, opracowana w ramach międzynarodowego programu normalizacyjnego Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) , definiuje metodę testową służącą do porównywania komponentów do przetwarzania gazu pod kątem potencjalnej emisji cząstek stałych w środowisku gazów korozyjnych. Norma ta została opracowana jako praktyczny sposób generowania danych o wydajności dla grupy komponentów porównywanych w procesie selekcji. Opisana metoda testowa ma zastosowanie do zaworów, filtrów cząstek stałych i regulatorów niskiego ciśnienia.
Standardy SEMI dostarczają producentom wskazówek dotyczących chemikaliów i procesów materiałowych związanych z produkcją chipów półprzewodnikowych i innych powiązanych urządzeń. Dzięki tym standardom firmy mogą wejść na rynki międzynarodowe, zminimalizować ryzyko projektowe i zwiększyć wydajność.
W branży półprzewodników wysoka czystość, odporność chemiczna, gęstość i dokładność są ważnymi narzędziami do opracowywania produktów i procesów produkcyjnych. Materiały półprzewodnikowe to materiały, które pod wpływem nałożonej na nie pracy mechanicznej uzyskują właściwości przewodzące. Materiały te, które w normalnych warunkach są izolatorami, uwalniają część swoich elektronów i stają się przewodzące, gdy przyłożone zostaną efekty zewnętrzne, takie jak ciepło, światło, efekt magnetyczny lub napięcie elektryczne. Kiedy ten zastosowany efekt zewnętrzny zostanie usunięty, substancje te ponownie wracają do stanu izolującego. Dzięki tym właściwościom półprzewodniki znajdują szerokie zastosowanie w elektronice.
Standardy SEMI dotyczą również źródeł i systemów dystrybucji gazu magazynowanego/sprężonego. Odnosi się to również ogólnie do wysoce toksycznych gazów dodatkowych podczas etapów dyfuzji w wysokiej temperaturze.
Podczas przygotowywania niniejszego standardu jako odniesienie przyjęto następujące standardy SEMI:
Nasza organizacja, wśród licznych badań testowych, pomiarowych, analitycznych i ewaluacyjnych dla przedsiębiorstw z różnych sektorów, świadczy również usługi testowe w zakresie oceny udziału cząstek w elementach instalacji gazowych narażonych na działanie gazu korozyjnego w zakresie normy SEMI F76, z jej wyszkolony i fachowy personel oraz zaawansowany sprzęt technologiczny.
Możesz poprosić nas o wypełnienie formularza, aby umówić się na spotkanie, uzyskać bardziej szczegółowe informacje lub poprosić o ocenę.
