SEMI F73 Metoda testowa dla skaningowej mikroskopii elektronowej (SEM) Ocena stanu mokrej powierzchni elementów ze stali nierdzewnej

Opracowana w ramach międzynarodowego programu normalizacji o nazwie International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), norma SEMI F73 określa jednolitą metodę testowania mokrych powierzchni elementów ze stali nierdzewnej przeznaczonych do montażu w systemach dystrybucji gazów o wysokiej czystości. Ta metoda badawcza charakteryzuje występowanie, częstotliwość, aw niektórych przypadkach tożsamość mikroskopijnych defektów powierzchni i zanieczyszczeń widocznych na mokrych powierzchniach.

Istnieje bezpośrednia korelacja między wynikami tej metody badawczej a zanieczyszczeniem gazów procesowych lub uzysków produktów w procesach obsługiwanych przez systemy dystrybucji gazów o wysokiej czystości. Zastosowanie tej metody badawczej ma na celu uzyskanie porównywalnych i powtarzalnych wyników wśród różnych użytkowników tej metody w celu kwalifikacji komponentów.

Celem metody badawczej opisanej w tej normie jest zdefiniowanie ogólnego zestawu parametrów i warunków instrumentalnych, które zapewnią precyzyjne i powtarzalne pomiary ważnych parametrów stanu powierzchni.

Ta metoda badawcza ma zastosowanie do mokrych powierzchni rur, armatury, zaworów i innych elementów ze stali nierdzewnej w celu określenia skuteczności obróbki wykańczającej i czyszczenia powierzchni. Metoda ta jest stosowana do identyfikacji defektów powierzchni, w tym wżerów, wtrąceń, zadrapań, pozostałości po procesie, granic ziaren i zanieczyszczeń na zwilżonych powierzchniach. Jednakże wszelkie uszkodzenia powierzchni powstałe podczas przygotowywania próbki powinny być wyłączone z tej oceny.

Skaningowy mikroskop elektronowy (SEM) to mikroskop elektronowy, który wykorzystuje skupioną wiązkę elektronów do skanowania i obrazowania powierzchni próbki. Elektrony oddziałują z atomami w próbce i wytwarzają różne sygnały zawierające informacje o składzie na powierzchni próbki. Standardowe urządzenia skanujące nadają się do kontroli suchych i przewodzących powierzchni w wysokiej próżni. Istnieją jednak również urządzenia skanujące, które działają w warunkach niskiej próżni, wilgotnych oraz w warunkach od bardzo niskich do wysokich temperatur.

Spośród licznych testów, pomiarów, analiz i ocen, jakie nasza organizacja świadczy na rzecz przedsiębiorstw z różnych sektorów, oferujemy również usługi badawcze w zakresie oceny stanu mokrej powierzchni elementów ze stali nierdzewnej z wykorzystaniem skaningowej mikroskopii elektronowej (SEM) zgodnie z normą SEMI F73, dzięki wykwalifikowanej i doświadczonej kadrze oraz zaawansowanemu technologicznie sprzętowi.