Metoda testowa do określania szczelności systemów dystrybucji gazu za pomocą helowego detektora wycieku SEMI F106

Opracowany w ramach międzynarodowego programu normalizacyjnego o nazwie International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), który obejmuje działania na rzecz branż takich jak półprzewodniki, układy scalone, tranzystory, diody i płaskie wyświetlacze na całym świecie, standard SEMI F106 jest technicznie zatwierdzony przez Globalny Komitet Techniczny ds. Gazów jest standardem. Niniejsza norma opisuje metodę testową do wykrywania wewnętrznych wycieków helu w systemach dystrybucji gazu. Norma ta obejmuje zarówno konwencjonalne metalowe uszczelnienia czołowe, jak i powierzchniowe systemy dystrybucji gazu.

Przedstawiona metoda badań ma zastosowanie do wszystkich typów systemów dystrybucji gazu o wysokiej czystości stosowanych w zakładach produkujących półprzewodniki i porównywalnych obszarach badawczo-rozwojowych.

Badanie szczelności helem stosuje się w celu wykrycia ewentualnych nieszczelności w różnych typach zamkniętych lub uszczelnionych systemów, które wykorzystują hel jako gaz znakujący. Za pomocą tego testu mierzy się stężenie wycieku (wycieku) i określa jako szybkość wycieku.

Główne kluczowe cechy helu gazowego, które czynią go idealnym do testowania szczelności, to:

• Gazowy hel jest jedną z najmniejszych cząsteczek, która pozwala mu niezawodnie i szybko przecinać ścieżki.
• Hel jest gazem obojętnym, nie wchodzi w interakcje z badanymi komponentami, dzięki czemu jest bezpieczny w użyciu.
• Hałas wytwarzany przez hel jest z natury niski ze względu na jego ograniczoną dostępność w atmosferze na poziomie poniżej 5 ppm, dzięki czemu raporty są niezwykle dokładne.

Krótko mówiąc, metody testowe oparte na helu to wysoce czuła technologia testowania szczelności, wyposażona w wykrywanie bardzo małych nieszczelności, które nie są możliwe przy użyciu innych metod testowania szczelności. Podczas tego testu stosowana jest technika wysokiej próżni. Zapewniane są bardzo niskie progi testu szczelności, poziom czułości, który pozwala na niezrównane porównania między elementami opakowania.

Wśród licznych badań testowych, pomiarowych, analitycznych i ewaluacyjnych, które świadczy dla przedsiębiorstw z różnych sektorów, nasza organizacja świadczy również usługi testowania w celu określenia szczelności systemów dystrybucji gazu za pomocą helowych detektorów nieszczelności w zakresie standardu SEMI F106, z przeszkolonymi i fachową kadrę oraz zaawansowany sprzęt technologiczny.