Norma SEMI F111, opracowana w ramach międzynarodowego programu normalizacyjnego Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), obejmującego działania na rzecz branż takich jak półprzewodniki, układy scalone, tranzystory, diody i wyświetlacze płaskie na całym świecie, definiuje metodę testową służącą do pomiaru zdolności usuwania cząstek przez jednostki filtrujące wentylatory urządzeń (EFFU) montowane wewnątrz urządzeń.
-partikul-temizleme-icin-test-yontemi.jpg "SEMI F111 Metoda testowania zespołu filtra wentylatora sprzętu (EFFU) do usuwania cząstek stałych")
Ponieważ wewnątrz urządzenia znajduje się zespół filtra cząstek stałych, wentylatora i silnika, integralność tych części ma kluczowe znaczenie dla wydajności zespołu filtra wentylatora. Dlatego konwencjonalna metoda badania usuwania cząstek stałych dla filtrów cząstek stałych jest odpowiednia do oceny skuteczności usuwania cząstek stałych przez zespół filtrujący wentylatora urządzenia.
Metoda testowa opisana w niniejszej normie opisuje metodę oceny zespołu filtrującego wentylatora sprzętowego zainstalowanego w zamkniętej przestrzeni w celu usunięcia cząstek wytwarzanych w sprzęcie procesowym. Skuteczność usuwania cząstek stałych przez zespoły filtrujące wentylatory zależy zasadniczo od wydajności materiału filtrującego i natężenia przepływu powietrza. Aby zrozumieć działanie zespołu filtrującego wentylatora urządzenia, należy jednocześnie wziąć pod uwagę specyfikację materiału filtrującego, natężenie przepływu powietrza i integralność części zespołu filtrującego wentylatora urządzenia. W skrócie, ta metoda testowa ma na celu wykazanie wydajności systemu urządzenia filtrującego wentylator.
Zespół filtra wentylatora jest rodzajem zmotoryzowanego urządzenia do filtrowania powietrza. Służy do usuwania szkodliwych cząstek z powietrza otoczenia i dostarczania oczyszczonego powietrza do pomieszczeń czystych, laboratoriów, placówek medycznych lub mikrośrodowisk. Jednostki te zazwyczaj zawierają własny filtr, filtr HEPA i wewnętrznie sterowaną dystrybucję powietrza za pomocą wentylatora. Jednostki filtrujące wentylatory sprzętowe to elastyczne i ekonomiczne rozwiązania do usuwania cząstek stałych z urządzeń wentylowanych jednokierunkowo.
Podczas przygotowywania tego standardu jako punkt odniesienia przyjęto następujący standard SEMI:
Wśród licznych badań, pomiarów, analiz i ocen, które świadczy dla przedsiębiorstw z różnych sektorów, nasza organizacja świadczy również usługi testowania czyszczenia cząsteczkowego zespołu filtrującego wentylatora sprzętu (EFFU) w zakresie normy SEMI F111, przy pomocy przeszkolonego i fachowego personelu i zaawansowany sprzęt technologiczny.
Możesz poprosić nas o wypełnienie formularza, aby umówić się na spotkanie, uzyskać bardziej szczegółowe informacje lub poprosić o ocenę.
