Metoda testowa SEMI F104 do oceny domieszki cząstek stałych składników stosowanych w systemach dostarczania wody ultraczystej i płynnych chemikaliów

Norma SEMI F104, opracowana w ramach międzynarodowego programu normalizacyjnego Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), opisuje wymagania i przedstawia metody testowe służące ocenie i porównywaniu składników pod kątem zawartości cząstek stałych w strumieniach ultraczystej wody. W normie tej zdefiniowano dwie metody badań służące do oceny udziału cząstek stałych: metodę badania płukania i metodę badania dynamicznego.

• Metoda testu płukania ocenia wydajność w trybie prania, gdy komponent znajduje się w stanie statycznym, tzn. nie ma żadnego aktywnie poruszającego się komponentu wewnątrz komponentu poddawanego testowi. Niniejsza metoda badawcza pozwala określić objętość spłukiwania potrzebną do podniesienia poziomu cząstek do wartości zgodnej ze specyfikacją.
• W metodzie badań dynamicznych ocenia się działanie podzespołu w trakcie pracy i uzyskuje się wskazanie udziału cząstek w stanie ustalonym, wynikającego z dynamicznych warunków pracy.

Obie metody badawcze stosuje się do komponentów układów z ciekłymi chemikaliami i ultraczystą wodą przeznaczonych do stosowania w urządzeniach do produkcji półprzewodników i sprzęcie pomocniczym.

Opisane w niniejszej normie metody badań służą do pomiaru udziału cząstek stałych poszczególnych składników, gdy jako medium testowe stosuje się wodę ultraczystą. Na potrzeby niniejszej normy woda ultraczysta musi spełniać minimalne wymagania określone w normie. W przypadku tych metod testowych do pomiaru wydajności używany jest licznik cząstek optycznych w postaci cieczy. Urządzenie to jest powszechnie stosowane jako licznik cząstek do wykrywania i monitorowania zanieczyszczeń cząsteczkowych w niektórych czystych mediach, w tym w powietrzu, wodzie i chemikaliach. Aby wspierać czystsze praktyki produkcyjne, liczniki cząstek stosuje się w technologiach przemysłowych, takich jak komponenty i zespoły elektroniczne, produkty farmaceutyczne i urządzenia medyczne, a także w przemyśle naftowym i gazowym.

Podczas przygotowywania niniejszego standardu jako odniesienie przyjęto następujące standardy SEMI:

• Przewodnik SEMI E49 po wydajności rurociągów o wysokiej i bardzo wysokiej czystości, podzespołach i zespołach końcowych
• Specyfikacja SEMI F57 dla komponentów polimerowych stosowanych w systemach dystrybucji wody ultraczystej i chemikaliów ciekłych

Oprócz licznych testów, pomiarów, analiz i ocen, jakie nasza organizacja świadczy na rzecz przedsiębiorstw z różnych sektorów, oferujemy również usługi testowe mające na celu ocenę zawartości cząstek w komponentach stosowanych w systemach dozowania wody ultraczystej i chemikaliów w stanie ciekłym zgodnie z normą SEMI F104, wykorzystując naszą wykwalifikowaną i doświadczoną kadrę oraz zaawansowany technologicznie sprzęt.