Metoda testowa do określania wpływu ciśnienia na zademonstrowany i rzeczywisty przepływ dla regulatorów przepływu masowego SEMI F64

Norma SEMI F 64, opracowana w ramach międzynarodowego programu normalizacyjnego Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), obejmującego działania na rzecz branż takich jak półprzewodniki, układy scalone, tranzystory, diody i wyświetlacze płaskie na całym świecie, definiuje metodę badań służącą do charakteryzowania regulatora przepływu masy przeznaczonego do instalacji w systemie dystrybucji gazu. Metoda ta jest stosowana w celu określenia wpływu przejściowych i ustalonych warunków ciśnienia wlotowego i wylotowego na działanie regulatora przepływu masy.

Ta metoda testowa zapewnia wspólną podstawę komunikacji między producentami i użytkownikami w zakresie testowania i wyjaśniania wpływu ciśnienia na regulator masowego przepływu.

Za pomocą tej metody badawczej określa się wpływ przejściowego ciśnienia przed (wlot) i za (wypływ) na określony i rzeczywisty przepływ. Ta metoda testowa daje wyniki rzeczywistego przepływu wylotowego w porównaniu z określonym przepływem i wartością zadaną regulatora przepływu masowego, na którą ma wpływ ustalone ciśnienie wlotowe. Metoda dotyczy regulatorów przepływu masowego o maksymalnym zakresie przepływu do 1000 sccm (standardowych centymetrów sześciennych na minutę).

Wzrost ciśnienia powoduje sprężanie gazu. Gazy mają większą gęstość i zajmują mniejszą objętość. Innymi słowy, jeśli przepływa pewna masa gazu, jego objętość jest mniejsza. Ponieważ ta sama masa gazu przepływa przez tę samą rurę, prędkość sprężonego gazu maleje.

W zastosowaniach gazowych wahania ciśnienia gazu mogą wpływać na prędkość gazu, co znacząco wpływa na przyrządy do pomiaru przepływu gazu.

Zasadniczo przepływ jest miarą wydatku powietrza w objętości na jednostkę czasu. Prędkość odnosi się do tego, jak szybko powietrze porusza się w jednostce czasu. Ciśnienie jest miarą siły przyłożonej do danego obszaru.

Nasza organizacja, wśród licznych badań, pomiarów, analiz i ocen, które świadczy dla przedsiębiorstw z różnych sektorów, obejmuje również usługi testowe do określania wpływu ciśnienia na rzeczywisty przepływ i pokazywane dla urządzeń do kontroli przepływu masowego w zakresie normy SEMI F64 , ze swoim wyszkolonym i doświadczonym personelem oraz zaawansowanym sprzętem technologicznym.