Opracowany w ramach międzynarodowego programu normalizacyjnego o nazwie International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), standard SEMI F70 jest technicznie zatwierdzonym standardem przez Globalny Komitet Techniczny Gases. Celem tej normy jest zapewnienie standardowej metodologii i metody badania pomiaru wydajności dodatku cząstek stałych w systemie dystrybucji gazu pod względem liczby cząstek dodanych do gazu przepływającego przez system. Ta znormalizowana procedura ma być szeroko stosowana przez dostawców systemów dystrybucji gazu, dostawców sprzętu i użytkowników końcowych.
Omawiana metoda badawcza ma zastosowanie do konwencjonalnych natynkowych systemów dystrybucji gazu stosowanych w urządzeniach do produkcji półprzewodników. Podczas testów uwzględniana jest norma SEMI F70.1-0320 dołączona do tej normy (metoda testowa mająca na celu określenie udziału cząstek stałych w systemie dystrybucji gazu i jego elementach poprzez próbę udarności).
Jednym z najważniejszych czynników branych pod uwagę przy projektowaniu systemu dystrybucji gazu jest poziom czystości gazu wymagany w każdym punkcie jego wykorzystania. Utrzymanie czystości gazu jest uproszczone dzięki scentralizowanemu systemowi. Wybór materiału do montażu musi być spójny w całym zakresie. Na przykład, jeśli używany jest gaz klasy badawczej, należy zastosować całą konstrukcję ze stali nierdzewnej i zawory odcinające bez membrany, aby zapobiec zanieczyszczeniu strumienia gazu. Ogólnie rzecz biorąc, istnieją trzy poziomy czystości opisujące prawie każde zastosowanie: czystość uniwersalna, wysoka czystość i bardzo wysoka czystość.
Standardy i praktyki bezpieczeństwa SEMI nie mają na celu rozwiązania wszystkich problemów związanych z bezpieczeństwem ich stosowania. Obowiązkiem użytkowników norm jest ustanowienie odpowiednich praktyk w zakresie bezpieczeństwa i higieny pracy oraz określenie możliwości zastosowania ograniczeń w stosowaniu.
Krótko mówiąc, celem normy SEMI F70 jest zapewnienie metody pomiaru wydajności dodatku cząstek stałych w systemie dystrybucji gazu pod względem liczby cząstek dodanych do gazu przepływającego przez system.
Podczas przygotowywania niniejszego standardu jako odniesienie przyjęto następujące standardy SEMI:
Wśród licznych badań testowych, pomiarowych, analitycznych i ewaluacyjnych, które świadczy dla przedsiębiorstw z różnych sektorów, nasza organizacja świadczy również usługi testowania w celu określenia udziału cząstek stałych w systemie dystrybucji gazu w zakresie normy SEMI F70, przy pomocy przeszkolonych i doświadczona kadra i zaawansowany sprzęt technologiczny.
Możesz poprosić nas o wypełnienie formularza, aby umówić się na spotkanie, uzyskać bardziej szczegółowe informacje lub poprosić o ocenę.
