SEMI F72Auger Metoda testowa do spektroskopii elektronowej (AES) Testy mokrych powierzchni pasywowanych elementów ze stali nierdzewnej 316L

Opracowany w ramach międzynarodowego programu normalizacyjnego o nazwie International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), celem normy SEMI F72 jest opisanie metody badawczej do charakteryzowania składu powierzchni pasywowanych elementów ze stali nierdzewnej 316L przewidzianych do instalacji w systemie dystrybucji gazu o wysokiej czystości . Ta metoda testowa jest przeznaczona do stosowania na mokrych powierzchniach rur, złączek, zaworów i innych elementów ze stali nierdzewnej jako miara skuteczności pasywacji. Proces pasywacji to proces neutralizacji żelaza po zastosowaniu kwasu usuwającego rdzę.

Celem tej metody badawczej jest zdefiniowanie ogólnego zestawu parametrów i warunków przyrządu, które pozwolą na uzyskanie powtarzalnych pomiarów w warstwie pasywnego tlenku wzbogaconej w chrom. Niniejsza metoda badawcza została przygotowana w celu scharakteryzowania składu i grubości warstwy tlenku wzbogaconego chromem na powierzchniach ze stali nierdzewnej oraz w celu wykrycia zanieczyszczenia powierzchni rur, armatury, zaworów i innych elementów. Metoda polega na wykrywaniu i pomiarze składu pierwiastków powierzchniowych za pomocą spektroskopii elektronów Augera (AES). Niniejsza metoda badawcza opisuje również metodę badawczą profilu składu wgłębnego chromu, żelaza, niklu, tlenu i węgla rozciągającego się od powierzchni przejmowanej przez warstwy tlenkowe do metalu nieszlachetnego. Pomiar ten dostarcza informacji o grubości tlenku i wzbogaceniu chromu w całym obszarze pasywacji.

Wykorzystując spektroskopię elektronów Augera (AES), próbka jest bombardowana przez elektrony o wysokiej energii, a niektóre elektrony są usuwane z docelowych atomów, a atomy ulegają jonizacji. Ponieważ zjonizowany atom jest niestabilny, elektron z orbitalu zewnętrznego wypełnia wakat elektronu na orbicie wewnętrznej. Ta metoda jest bardzo potężną techniką analizy obrazu.

Podczas przygotowywania niniejszego standardu jako odniesienie przyjęto następujące standardy SEMI:

• Specyfikacja dla SEMI C57 Argon
• Specyfikacja dla azotu SEMI C59

Nasza organizacja, wśród licznych badań, pomiarów, analiz i ocen, które przeprowadziła dla firm z różnych sektorów, z wyszkolonym i doświadczonym personelem oraz zaawansowanym sprzętem technologicznym, metoda testowa dla spektroskopii elektronów Augera (AES) w zakresie SEMI Standard F72 to metoda badania tlenków na mokrych powierzchniach pasywowanych elementów ze stali nierdzewnej 316L, która świadczy również usługi testowania w celu oceny warstwy.