Metoda testowa SEMI F112 do określania właściwości suszenia wilgocią powierzchniowych i konwencjonalnych systemów dystrybucji gazu metodą spektroskopii pierścieniowej (CRDS)

Opracowana w ramach międzynarodowego programu normalizacji o nazwie International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), norma SEMI F112 koncentruje się na określeniu charakterystyki suszenia wilgoci (tj. ilości usuwanej wilgoci) montażu powierzchniowego zintegrowanych systemów dystrybucji gazu i gazu konwencjonalnego systemy dystrybucji wykorzystujące analizatory spektroskopii pierścienia przestrzennego (CRDS). Metoda badania jest zdefiniowana dla

Wyniki tej metody badawczej są wykorzystywane do oceny jakościowej systemu dystrybucji gazu na podstawie projektu. Może być również używany przez użytkownika posiadającego wystarczającą wiedzę jako dane wejściowe do numerycznej symulacji zachowania systemu dystrybucji gazu.

Podczas przygotowywania niniejszego standardu jako odniesienie przyjęto następujące standardy SEMI:

Metoda badawcza dla standardów wilgotności SEMI C15 ppm i ppb
SEMI F1 Specyfikacja szczelności systemów i komponentów rurociągów gazowych o wysokiej czystości

Spektroskopia pierścienia przestrzennego (CRDS) jest dobrze znaną i stosowaną techniką monitorowania wilgoci w gazach procesowych o wysokiej czystości w przemyśle produkcji półprzewodników i diod LED, a także w produkcji, transporcie i dystrybucji gazów przemysłowych i chemicznych. Korzyści płynące z tej dokładnej i ekonomicznej techniki monitorowania wilgoci przyciągają uwagę producentów standardów branżowych, takich jak SEMI.

Metoda badawcza przedstawiona w standardzie SEMI F112 pozwala użytkownikom na jakościową ocenę i uszeregowanie systemów dystrybucji gazu zgodnie z ich projektem. Norma ta obejmuje następujące główne obszary zastosowań:

Systemy dystrybucji gazu natynkowe
Konwencjonalne systemy dystrybucji gazu
Kwalifikacja nowych systemów rurowych
Kwalifikacja nowych projektów dystrybucji gazu

Ogólnie rzecz biorąc, standardy SEMI są dobrowolnymi umowami technicznymi pomiędzy dostawcami i klientami, których celem jest poprawa jakości i niezawodności produktu poprzez stabilne dostawy. Standardy te zapewniają globalną kompatybilność produktów, aby sprostać wyzwaniom zwiększania produktywności, zapewniając jednocześnie możliwości biznesowe na całym świecie.

Wśród licznych badań, pomiarów, analiz i ocen, które przeprowadziła dla firm z różnych sektorów, nasza organizacja, z wyszkolonym i doświadczonym personelem oraz zaawansowanym wyposażeniem technologicznym, jest w stanie przeanalizować właściwości osuszania wilgoci w systemach montowanych powierzchniowo i konwencjonalnych systemach dystrybucji gazu. spektroskopii pierścienia przestrzennego (CRDS) w zakresie standardu SEMI F112. Świadczy również usługi badawcze w zakresie oznaczania