
Opracowany w ramach międzynarodowego programu normalizacyjnego o nazwie International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), który obejmuje działania na rzecz takich branż jak półprzewodniki, układy scalone, tranzystory, diody i wyświetlacze płaskoekranowe na całym świecie, norma SEMI F71 jest technicznie zatwierdzona przez Globalny Komitet Techniczny ds. gazów jest standardem. Metodę badawczą zdefiniowaną w niniejszej normie stosuje się do systemów dystrybucji gazu instalowanych w sprzęcie do produkcji półprzewodników.

Niniejsza norma nie ma na celu rozwiązania wszystkich, jeśli w ogóle, problemów bezpieczeństwa związanych z jej stosowaniem. Obowiązkiem użytkowników niniejszej normy jest ustanowienie odpowiednich praktyk w zakresie bezpieczeństwa i higieny pracy przed użyciem oraz określenie możliwości zastosowania ograniczeń.
W niskociśnieniowym systemie dystrybucji gazu ciśnienie gazu w sieci i przewodach przyłączeniowych jest zasadniczo takie samo, jak ciśnienie dostarczane do urządzeń użytkownika. W takim systemie nie jest wymagany regulator serwisowy na oddzielnych liniach serwisowych. Wysokociśnieniowy system rurociągów dystrybucyjnych gazu działa pod wyższym ciśnieniem niż standardowe ciśnienie robocze podawane użytkownikowi. W takim systemie wymagany jest reduktor serwisowy na każdej linii serwisowej w celu kontrolowania ciśnienia.
Różne wzorce zewnętrznej wymiany ciepła zależą od wpływu ciśnień cieczy w rurociągach i obliczeń temperatur w odpowiedzi na roczny cykl temperatury otoczenia. W modelu wymiany ciepła cykl temperatury otoczenia jest reprezentowany przez temperaturę powierzchni gleby, która ma okresową funkcję czasu. Jednakże wyniki nie są wrażliwe na wybór zewnętrznego schematu wymiany ciepła przez ciśnienia w rurociągu. W przypadku podstawowym, który zasadniczo reprezentuje rurociąg eksportowy gazu ziemnego, wpływ na obliczone temperatury gazu jest ograniczony.
Wiele materiałów w systemie dystrybucji gazu ulega zmianom w zależności od czynników środowiskowych. Badania odporności na warunki środowiskowe mają na celu wykrycie tych zmian.
Systemy dystrybucji gazu muszą bezpiecznie i skutecznie dostarczać gazy ze źródła wysokiego ciśnienia do procesu końcowego pod ciśnieniem i natężeniem przepływu wymaganymi w każdym zastosowaniu.
Wśród licznych badań, pomiarów, analiz i ocen, które świadczy dla przedsiębiorstw z różnych sektorów, nasza organizacja świadczy również usługi testowania cyklu temperaturowego systemu dystrybucji gazu w zakresie normy SEMI F71, dzięki przeszkolonej i fachowej kadrze oraz zaawansowanej technologii sprzęt.
